 MAG 40-C-N MAG 60-C-N MAG XY 40-C-N MAG XY 60-C-N
|
|
Gonio Stage MAG XY 40-C-N
|
|
모터라이징 스테이지 MAG XY 40-C-N
|
|
|
|
사양
|
설명
|
|
스테이지면 크기
|
40X40
|
|
이동거리
|
±6˚
|
|
이동방식
|
Worm Gear(1/267), Cross Roller
|
|
분해능
|
0.0027˚/Pulse(Full Step)
|
|
최고 이송 속도
|
13.5˚/sec[5kHz]
|
|
정도
|
±0.005˚
|
|
단일-반복정밀도
|
±1um
|
|
다중-반복정밀도
|
±2um
|
|
상하흔들림정도
|
25"
|
|
좌우흔들림정도
|
20"
|
|
평행도(mm)
|
0.02"
|
|
주행 평행도(mm)
|
0.01"
|
|
진직도(mm)
|
0.005
|
|
내하중(Kg)
|
3
|
|
모터 형번
|
PMM33BH2-C49(5P STEP)
|
|
하중(Kg)
|
0.4
|
|
드라이버 형번
|
DFC5107-P
|
|
센서 형번
|
1원점 센서, 2 제한 센서
|
|
케이블 연결선
|
HR-10A-10J-12P(HRS)
|
|
