德国MLase准分子激光器 MLI- 500LC / 1000LC 产品描述
MLase产品型号：
MLI-HP-KrF 500 / 1000
MLI - 200 / 500 / 1000
MLI-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-HP-Krf-FBG/200/500/1000
MLI-200/500/1000准分子激光器
MLI系列的现代紧凑型准分子激光器为193 nm或248 nm的紫外光源，脉冲能量高达16 mj，重复频率可达1,000 Hz。
具有市场上最高的使用寿命和可靠性以及的运营成本的独立设备。适用于由于均匀光束剖面和能量稳定而要求的应用。
使用LC添加剂的准分子激光器还可以选择主动水冷却ρ(通过家用水或外部热交换器；不使用DI水)来稳定连续运行。
主要功能
工业设计
客户利益
高可靠性
维护成本低
100%占空比
电晕预电离 均质梁轮廓
固态电路 立即可用，无老化
管子技术 管道全金属密封
寿命延长数十亿
脉冲
能量监测器 能量稳定化
紧凑型Excimerlaser，
单相
易于操作，易于集成
水冷却器
