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Ulvac爱发科 UTM-3303FHA分子泵-二手真空泵维修咨询
发布者:putuovac  发布时间:2023-10-12 14:04:18
      Ulvac UTM-3303FHA采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。

UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承,实现了***、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压·高压缩型,提高了氢压缩比,用于轻·中间工艺,FW系列是广域·大流量型,用于高负荷工艺和中间·硬工艺。


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