ULVAC UTM3400A涡轮分子泵，采用磁浮轴承控制器一体型涡轮分子泵。通过泵的本体和控制器一体化，实现了省配线，省空间。
特点
泵体和控制器一体化
泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。
安装方向自由
安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。
产品阵容涵盖排气速度1000 L / s至4000 L / s。
广域大流量设计，适用于轻工艺
泵速可以在25％至100％的范围内变化，腔室的压力可以调节。
高耐久性和安全性
已经通过各种安全确认测试，例如空气冲击测试和触地测试。
