广州普拓维修德国Pfeiffer普发HiPace 80涡轮分子泵，进气法兰口DN 40/DN 63/DN 70（KF/CF) ，出气法兰口DN 16 ISO-KF / G，抽速可达到67 L/s，转速为90000rpm，对应的控制器为： Pfeiffer TC110 。
