(1）空气型 供应空气的气源装置设备一般应包括空压机、储气罐、气体过滤设备、气体除湿干燥设备以及消声设备。空压机是供气的动力设备，用以满足供气气量和气压的要求，一般要求采用无油润滑型；储气罐用于平衡供气气压和气量；气体过滤设备用于去除空气中的颗粒和杂质；气体湿干燥设备用于去除空气中的水分，以低供气露点；消声设备用于降低气源装置在高压供气时所产生的噪声。

(2）氧气型 目前国内外水厂臭氧净水设施中以氧气为气源的均通过设置现场液氧储罐或制氧机这两种形式的气源装置来为臭氧发生装置供氧气。液氧储罐供氧装置一般应包括液氧储罐、蒸发器、添加氮气或空气的设备以及液氧储罐压力和罐内液氧储存量的显示及报警设备等。商购液氧纯度较高（99％以上）,而提供给臭氧发生器的氧气浓度应在90%~95%，且要求含有少量的氮气，因此需要采用氮气储罐或空压机，并配有相应的气体混配器。
制氧机供氧装置一般应包括制氧设备、供气状况的检测报警设备、备用液氧储罐、蒸发器以及备液氧储罐压力和罐内液氧储存量的显示及报警设备等。一般制氧机所制取的氧气纯度在90%~95%，其中含有少量的氮气。采用制氧机供氧时，需配备备用的液氧储罐及其蒸发器，以保证故障维修与设备停运保养期间不间断。液氧储罐的最少储存量不应少于两天。此时可不考虑用加氮气或空气的设备，以降低设备投资和化设备系统。