Pfeiffer 普发TMU521P分子泵维修,Pfeiffer TMU521P普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 CF-F/DN 160 CF-F，出气法兰口 DN 25 ISO-KF，DN 100 CF-F抽速可达到290 L/s, DN 160 CF-F抽速可达到510 L/s，833HZ转速为50000 rpm，550HZ转速为33000 rpm，极限真空5X10-10 mbar, Pfeiffer普发TMU521P分子泵对应的控制器为：Pfeiffer TC600等。
