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型号 |
Altia350 |
Altia600 |
Altia Premium 350 |
Altia Premium 600 |
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测量范围 |
370mm |
620mm |
370mm |
620mm |
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应用范围 |
450mm |
700mm |
450mm |
700mm |
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垂直度误差 |
15um |
20um |
8um |
12um |
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最大允许误差 |
15um |
20um |
3+L(mm)/175um | |
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重复性 |
2um |
2um | ||
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操作时间 |
100小时（不使用气浮） |
40小时（不使用气浮） | ||
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标准测力 |
0.8N |
0.8N | ||
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分辨率 |
0.001mm |
0.001mm | ||
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最大移动速度 |
1.5m/秒 |
1.5m/秒 | ||
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数据输出接口 |
RS232C |
RS232C | ||
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气浮功能 |
无 |
有 | ||
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环境温度 |
+10℃-+40℃ |
+10℃-+40℃ | ||
