新仁苗族乡AB190-005-S2-P2恒温伺服行星减速器

EAMON/伊明牌HPE系列圆法兰直齿行星减速机
HPE90直齿单支撑行星减速机

减速比：L1单级3-10；L2双级20-100

额定输出扭矩：56-122 Nm

输出扭矩：112-244 Nm

额定输入转速：3500 rpm

输入转速：6000 rpm

标准背隙：L1单级≤8 arcmin；L2双级≤12 arcmin

传动效率：L1单级≈96%；L2双级≈94%

使用温度：-20℃~+80℃

防护等级：IP64




新仁苗族乡AB190-005-S2-P2恒温伺服行星减速器


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新仁苗族乡AB190-005-S2-P2恒温伺服行星减速器


精密行星减速机在硅片/晶圆制造设备中的重要性

在硅片/晶圆制造设备中，精密行星减速机发挥着至关重要的作用。它作为核心的传动部件，能够提供高精度、高刚性和长寿命的传动，从而确保制造过程的稳定性和可靠性。本文将详细描述精密行星减速机在硅片/晶圆制造设备中的重要性。

一、实现高精度传动

精密行星减速机具有高精度、低噪音和长寿命等优点，能够实现高精度的传动。在硅片/晶圆制造设备中，高精度的传动对于提高制造质量和生产效率至关重要。精密行星减速机通过精密的齿轮设计和加工，以及高精度的装配和调整，能够实现小于1弧分的传动精度，从而确保制造过程的稳定性和可靠性。

二、提高设备刚性

精密行星减速机具有高刚性、低惯量和优异的传动效率等特点，能够提高硅片/晶圆制造设备的刚性。由于制造过程中需要承受较大的切削力和冲击力，设备的刚性对于保证制造精度和防止振动至关重要。精密行星减速机采用高强度材料和优化的结构设计，能够有效地提高设备的刚性，从而确保制造过程的稳定性和可靠性。

三、延长设备使用寿命

精密行星减速机具有长寿命、低维护和优异的润滑性能等特点，能够延长硅片/晶圆制造设备的使用寿命。由于制造过程中需要连续运转，设备的寿命对于保证生产效率和降低维护成本至关重要。精密行星减速机采用耐磨材料和优化的结构设计，能够有效地提高设备的使用寿命，从而降低维护成本和确保长期稳定的生产。

四、降低设备能耗

精密行星减速机具有优异的传动效率和低能耗等特点，能够降低硅片/晶圆制造设备的能耗。由于制造过程中需要消耗大量的电能，设备的能耗对于降低生产成本和保护环境至关重要。精密行星减速机采用传动设计和优化的控制系统，能够有效地提高设备的传动效率，从而降低电能消耗和生产成本。

五、实现设备自动化

精密行星减速机能够实现硅片/晶圆制造设备的自动化。由于制造过程中需要控制位置和速度，自动化对于提高生产效率和降低人力成本至关重要。精密行星减速机配合伺服控制系统，能够实现高精度的位置控制和速度控制，从而自动化地完成制造过程，提高生产效率和降低人力成本。

综上所述，精密行星减速机在硅片/晶圆制造设备中具有重要的作用。它能够实现高精度传动、提高设备刚性、延长设备使用寿命、降低设备能耗以及实现设备自动化等优点。通过使用精密行星减速机，能够提高制造质量和生产效率，降低维护成本和生产成本，同时保护环境和提高企业竞争力。因此，在硅片/晶圆制造设备中选用合适的精密行星减速机是非常重要的。


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