德国UL1000检漏仪UL-1000
INFICON UL1000型氦气检漏仪尤其适用于元器件精准检漏的要求：灵活性测试，高灵敏度，快速与精准的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。
UL-1000符合微电子工业市场的要求。其特点从兼顾的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，至I.CAL*，无与伦比的，用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。
系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL-1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
Inbligent Calculation Algorithm of Leak rates智能化漏率计算机程序可提供UL-1000在10-12毫巴.升每秒范围内无比优越的测速速度。使它成为真正有效的量程
