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产品简介

ASML 4022.470.56202

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上架日期：2025-02-22 18:45:05

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详细说明

ASML 4022.470.56202

参数详解

ASML 4022.470.56202 是光刻机设备中的重要组件，其优越的性能和精准的参数对半导体制造过程起着至关重要的作用。以下是关于该组件的详细参数介绍：

基本参数

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型号：ASML 4022.470.56202

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类别：光刻机核心组件

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制造商：ASML（荷兰阿斯麦公司）

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适用设备：主要用于极紫外（EUV）光刻机

技术规格

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尺寸：约 320mm x 240mm x 150mm（长 x 宽 x 高）

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重量：约 15 公斤

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工作电压：24 VDC ± 10%

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工作温度范围：20°C 至 30°C

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精度：纳米级精度，确保极高的图案复制精度

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材料：高强度铝合金和特种复合材料，确保稳定性和耐用性

功能特性

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高分辨率：支持 7nm 及以下工艺节点的芯片制造，具备出色的分辨率能力。

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稳定性：采用先进的温控和振动控制技术，确保在长时间运行中保持稳定的性能。

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兼容性：与 ASML 的多种 EUV 光刻机型号兼容，包括 TWINSCAN NXE:3400B 和 NXE:3350B。

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自动化：集成了先进的自动化控制功能，可实现高效的无人操作。

性能优势

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高效率：该组件通过优化设计，显著提升了光刻机的生产效率，缩短了芯片制造周期。

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低能耗：采用节能技术，在保持高性能的同时，降低了整体能耗。

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可靠性：经过严格的测试和验证，具备极高的可靠性和长寿命，减少了设备维护和停机时间。

应用领域

ASML 4022.470.56202 主要应用于半导体制造领域，特别是在先进逻辑芯片和存储芯片的生产过程中，为芯片制造商提供了先进的光刻技术支持。

维护与保养

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定期清洁：需定期进行清洁，确保无尘环境，防止灰尘和杂质影响性能。

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温度控制：保持工作环境的温度稳定在规定范围内，避免温度波动对组件造成影响。

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校准与检测：定期进行校准和检测，确保组件的各项参数保持在状态。

通过以上参数介绍，可以看出 ASML 4022.470.56202 组件在半导体制造中的重要作用和优越性能。它不仅提升了芯片制造的精度和效率，还为半导体行业的发展提供了强有力的技术支持。

ASML 4022.470.56202

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