ASML 4022.471.88171

ASML 4022.471.88171核心组件简介及技术参数

一、产品概述ASML 4022.471.88171 是一款自动化控制模块，专为精密制造与半导体设备设计。该组件由的自动化技术供应商宁德润恒自动化提供，具备高可靠性、控制及快速响应特性，广泛应用于光刻机、晶圆检测设备及加工系统中，可显著提升设备运行效率与稳定性。

二、核心技术参数

1. 控制精度

○ 定位分辨率：≤0.1μm

○ 运动重复精度：±0.5μm（XYZ三轴）

○ 响应时间：≤1ms（闭环控制）

2. 电气性能

○ 工作电压：24VDC ±5%

○ 大功耗：30W（空载）/ 50W（满载）

○ 通信接口：EtherCAT、Profinet、TCP/IP（支持多协议切换）

3. 机械特性

○ 尺寸（长×宽×高）：200mm × 150mm × 50mm

○ 安装方式：标准DIN导轨安装或定制支架

○ 工作温度：-10℃至55℃（工业级防护）

4. 防护等级

○ IP67（防尘防水设计，适应恶劣环境）

○ 抗震等级：≥5G（持续运行稳定性）

三、应用领域与优势

● 半导体制造：适用于晶圆搬运、光刻对准等精密环节，确保纳米级工艺精度。

● 自动化生产线：集成于高速分拣、组装设备，提升生产节拍与良品率。

● 技术优势：

1. 双冗余控制架构，故障率降低30%；

2. 智能诊断功能，实时监测运行状态；

3. 兼容主流工业软件（如ASML、TWINCAT等），部署便捷。

四、选型建议根据设备负载、环境条件及精度需求，可配置不同版本模块（如标准版/扩展版），建议联系宁德润恒自动化技术团队获取定制化方案。

ASML 4022.471.88171

联系人：吴经理 手机：18596688429（微信同号）邮箱：841825244@qq.com