本特利330130-040-00-00这种继电器的操作电压范围可做到50200,且当可动阳极用铝材料厚度为5 4时,电极自身是绝缘层。为将动作电压降到1520,以下,还开发了种绝缘层厚度在0.51.0 4的器件。在另设计中,用带有孤岛的分立绝缘层取代了连续的绝缘层以防止出现很高的驻留电荷。如将绝缘层厚度降为O.lμm以下,可进步降低吸合电压。在理论上,实现操作电压达到500,是可能的。
本特利330130-040-00-00 种用于微机械继电器的热控制磁执行器了它的动作是通过器件外激光束加热而改变局部磁化强度来实现的。制作是通过面镀镍实现。用于驱动1的激光极管的功率是30mW.微继电器的开关时间经实验测得为10mS,与传统机械继电器相当。经计算触点接触力为20μN,这个力通过增加TCMA的尺寸可得以改善。
本特利330130-040-00-00 1997年5月传感器与执行器58卷尺66咖3.栳1等人发文为脉冲电流激励的双稳态磁执行器的设计与制作16.该文描述了种脉冲电流激励的双稳态磁执行器的设计与制作过程文中所述的执行器包括个带有双极片的平面型导磁体,个导磁的悬臂梁,个激励线圈和永久磁铁。悬臂梁的运动有两个稳定状态,即总是能与其中之保持接触。通过流经激励线圈的脉冲电流切换悬臂梁的接触状态。该微执行器采用紫外光刻技术合金蒸镀工艺牺牲层蚀刻工艺进行制作的。开关脉冲电流施加在悬臂梁上的励磁线圈产生的电磁力为5,悬臂梁端点处的接触力可达0.25,1.
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