TMR高密数字输入模件，24VDC或48VDC（#3504E型）
色标 暗红
输入点数 64共用的，DC耦合
输入电压范围1
24VDC 20～36VDC
48VDC 40～72VDC
输入超限保护 115VAC连续的；150VDC连续的
24VDC的开关电平
OFF到ON 15VDC，典型的；18VDC，最坏；4VDC典型回差
ON到OFF 8VDC，典型；6VDC，最坏；4VDC典型回差
开关电平，48VDC的
OFF到ON 27VDC，典型的；32VDC，最坏；7VDC典型回差
ON到OFF 14VDC，典型，11VDC，最坏，7VDC典型回差
输入延迟
OFF到ON <10ms
ON到OFF <10ms
状态指示灯
ON或OFF态 每点1个
模件状态 PASS,FAULT，ACTIVE
输入阻抗2 >3kΩ,额定
逻辑功率 <10瓦
输入诊断故障覆盖率3
Max输入触发率 每100ms一次
最小输入触发率 不要求
故障诊断周期 每2-3秒1ms
输出电压 0VDC或5VDC，典型的
输出阻抗 100Kω，典型的
点隔离（光电隔离） 最小1500VDC
状态指示灯
ON或OFF态 每点1个
模件状态 PASS，FAULT，ACTIVE
逻辑功率 ＜10瓦
额定场功率负载 0.2瓦/每ON点；0.5瓦，最大现场电压时
向机架的漏电流，60HZ时 不使用
输入触发率1
Max，输入触发率 每100ms
最小输入触发率，ON态 不要求
最小输入触发率，OFF态 不要求

Advanced Energy Pinnacle DC Magnetron Power Supply AE

Leybold TW 300

Genmark Automation Gencobot 7S

VAT 02110-AE24-AAS1 模块

SMC XGT312-47336-2C1-X2

VAT 02110-AE24 模块

Stokes 306 Vacuum Blower Rebuilt,

Leybold TI 40 B Vacuum Vane Pump: Surplus

Welch 1398 Duo-Seal Rotary Vane Vacuum Pump: Rebuilt

VAT 64248-UE52 12" CF Vacuum Gate Valve: Surplus New

Brooks FIXLOAD 25 Wafer Load Port: 013077-120-20

Pfeiffer TPH 330 Turbo Vacuum Pump
Nuvac Galiso MRP-201 模块

SIM-M8-3WD-5-PU
Temescal Edwards SFIH-270-3

Bay Voltex HRE-HT-30650  模块

ASYST 9700-5384-02R 模块

Brooks Polycold Aquatrap/Cryotiger T1102-15-000-30

Cryomech CP25 Helium Cryo  SIM-M8-3WD-5-PU  Compressor: CP 25 Tested Good

Advanced Energy PDX-2500 RF Power Supply 3156012-103

HiTek Power OL8000/A104/126 HV Stack

Advanced 3151801-001 模块

Leybold TI 25 B Vacuum Vane Pump: Surplus

VAT 14048-PE24 Vacuum ISO-250

VAT 64048-UE52 模块

Seiko Seiki STP-301H  模块

Advanced Energy 3151802-001

Advanced Energy RFX 2500

Hipotronics IT 100

Plasma-Therm System VII BatchTop 6" RIE PlasmaTherm

Edwards QMB-250 模块

CPI CPW2870A10

Edwards EH-500  模块 SIM-M8-3WD-5-PU

Edwards E100L

Leyb  old D40B

ENI OEM-12A  模块

Advanced Energy RFX 1250

VAT 0200X-BA24

Seiko Seiki SCU-A1603C

Neslab Dimax Heat Exchanger BOM#: 622023991801

MKS ENI DCG-100

Seren R3027W  模块 SIM-M8-3WD-5-PU

Alcab A100L 模块

MKS ENI GHW-12Z 模块

VAT 64250-TE52

VAT 64248-PE52 ISO-250

VAT 14046-UE24

Advanced Energy 3150010-001

VAT 02012-AA44-0001  模块

Bay Voltex LT-HRE-1650

Edwards E2M40 模块

Prometrix SpectraMap Film  SIM-M8-3WD-5-PU  Thickness Wafer Mapping

VAT 02109-BA24 模块

Alcab 2063

Brooks Automation 002-7200-21