此次开发主要解决了在半导体晶圆上形成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。同时，还提高了传感器的耐用性，降低了生产成本。作为热电转换元件的关键技术，确立了利用溅射蒸镀法形成SiGe膜之后进行热处理的薄膜成形技术。因为SiGe热电转换材料的热电特性高，非常适宜采用半导体工艺。为了使触媒不受大气中水蒸汽的影响而稳定地发挥作用，温度要维持在100℃。作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用MEMS技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。
在以陶瓷为支撑材料的铂触媒耐用性试验中，将新开发的微型热电式氢气传感器放置在相对温度约为65%的室温环境中，持续工作了3个月，在此期间对它对100ppm，1000ppm和1%氢气浓度的反应特性进行了测试。结果证实，性能十分稳定。此次采用普通半导体工艺，就将微型传感器集成到了硅底板上，因此该公司认为，将来还可集成处理传感器信号的电子线路，因此便于小型化，以及通过量产降低生产成本，实用潜力很大。
ZZ-OEM AG84A
ZZ-OEM BD-009-038
ZZ-OEM P733U-0-60
ZZ-OEM MSH18.6A
ZZ-OEM MSL01
ZZ-OEM 50-10-050-2
ZZ-OEM BIGDK1175
ZZ-OEM 73212BN52N00N0C1
ZZ-OEM H395
ZZ-OEM 3010-1
ZZ-OEM 426RS GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM -151URETHANE
ZZ-OEM 93810-1
ZZ-OEM 032UT
ZZ-OEM 169RS
ZZ-OEM 362RS
ZZ-OEM 132RS
ZZ-OEM 455BUN4
ZZ-OEM 369N70
ZZ-OEM 0-359-V
ZZ-OEM 1-7774-V
ZZ-OEM 1417-B
ZZ-OEM 334V
ZZ-OEM VITON CORD
ZZ-OEM 1386-B
ZZ-OEM 406V
ZZ-OEM 312-V GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM 127RS
ZZ-OEM 129RS
ZZ-OEM 275V
ZZ-OEM 436V75
ZZ-OEM 429V
ZZ-OEM 241-E
ZZ-OEM 380V-75
ZZ-OEM 247V
ZZ-OEM 432-B
ZZ-OEM 367V75
ZZ-OEM 1-2170
ZZ-OEM 360-B
ZZ-OEM 329V75
ZZ-OEM 0-9553847 GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM 15.6X2.4V75
ZZ-OEM 516016
ZZ-OEM 2050
ZZ-OEM 0901031
ZZ-OEM 0903005
ZZ-OEM 2002981
ZZ-OEM 025136
ZZ-OEM 2301913
ZZ-OEM 601650
ZZ-OEM 601852
ZZ-OEM 2301536
ZZ-OEM 704-0742
ZZ-OEM EL010001
ZZ-OEM 601-0002-01
ZZ-OEM 8115-AFX-EP
ZZ-OEM SLF4-123-QPA
ZZ-OEM 134664
ZZ-OEM QU395C095
ZZ-OEM 039.090.04
ZZ-OEM 060.189.04
ZZ-OEM REF001049
ZZ-OEM MV6-14
ZZ-OEM 28220G
ZZ-OEM 3DAA001583
ZZ-OEM 2760-171
ZZ-OEM 84408-R1
ZZ-OEM SM8 GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM N12
ZZ-OEM 2122351A
ZZ-OEM EA904-17
ZZ-OEM PRH075-V-PVC
ZZ-OEM RBL-14
ZZ-OEM BA88040LDMB
ZZ-OEM P2420147
ZZ-OEM BN-9-E-OR
ZZ-OEM J30-5
ZZ-OEM LP-100MF
ZZ-OEM P16
ZZ-OEM VX2111L-X3
ZZ-OEM 4814-109 GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM GG33A130-30MS
ZZ-OEM F45K
ZZ-OEM P2420171
ZZ-OEM TRM-002C
ZZ-OEM X8210D95VMDC24V
ZZ-OEM 8849-0301CS
ZZ-OEM J30-12
ZZ-OEM 1095085
ZZ-OEM s0s515
ZZ-OEM 5700W8
ZZ-OEM 3191-00
ZZ-OEM 683-LAMP
ZZ-OEM CPV-02
ZZ-OEM 2233FO2452-22/2K
ZZ-OEM P2420138 GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM AP3241K
ZZ-OEM V3L-51045S
ZZ-OEM SV201-3-24VDC
ZZ-OEM H-1211
ZZ-OEM WHM-2SK-S
ZZ-OEM PT3/8-80
ZZ-OEM G50-7-02
ZZ-OEM AP3144K
ZZ-OEM H-5555
ZZ-OEM Y160777-1111
ZZ-OEM AP3145K GE VMIVME-3122 模块
ZZ-OEM 25A1117
ZZ-OEM LNS-SB6-46X
