此次开发主要解决了在半导体晶圆上形成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。同时，还提高了传感器的耐用性，降低了生产成本。作为热电转换元件的关键技术，确立了利用溅射蒸镀法形成SiGe膜之后进行热处理的薄膜成形技术。因为SiGe热电转换材料的热电特性高，非常适宜采用半导体工艺。为了使触媒不受大气中水蒸汽的影响而稳定地发挥作用，温度要维持在100℃。作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用MEMS技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。
在以陶瓷为支撑材料的铂触媒耐用性试验中，将新开发的微型热电式氢气传感器放置在相对温度约为65%的室温环境中，持续工作了3个月，在此期间对它对100ppm，1000ppm和1%氢气浓度的反应特性进行了测试。结果证实，性能十分稳定。此次采用普通半导体工艺，就将微型传感器集成到了硅底板上，因此该公司认为，将来还可集成处理传感器信号的电子线路，因此便于小型化，以及通过量产降低生产成本，实用潜力很大。
FANUC SERIES ONE IC610PRG100A IC610PRG100
GE 3S7511RS575A1 3S7511RS575 RESISTIVE
GE FANUC BOARD A20B-2900-0480/02A A20B-2900-0480
GE FANUC BOARD 44A394684-G01 44A394684G01 BE1
UNIOP SCREEN MD02R-04-2442 MD02R-04 MD02R
UNIOP SCREEN CP02R-04-1321 CP02R-04 CP02R
GE FANUC IC600YB811A IC600YB811D IC600YB811
GE FANUC SERIES IC600BF908K IC600BF908 IC600YB908
GE FANUC SERIES IC600BF911A IC600BF911 IC600YB911
GE FANUC SERIES IC600BF913A IC600BF913 IC600YB913
GE Fanuc SERIES FIVE IC655PWR501A IC697CPX772 模块 IC655PWR501 PWR
GE Fanuc S FIVE IC655MDL502A IC655MDL502 MODULE
FANUC SERIES ONE IC610PRG105B IC610PRG105
GE FANUC 90-70 IC697BEM711F IC697BEM711J IC697BEM71
GE Fanuc IC630CBL117A IC630CBL117 SERIES THREE
PACIFIC SCIENTIFIC H33NLHB-LNN-00 H33NLHB LNN 1.8 STEP
GE FANUC IC693CHS393H IC693CHS393
GE FANUC IC600BF810K IC600BF810 ISO INPUT 115VAC
GE FANUC ANALOG OUT IC610MDL166B IC610MDL166
GE Fanuc SERIES THREE IC630MDL375B IC630MDL375
GE FANUC IC600YB811A IC600YB811 IC600YB811C B
Ge FANUC SERIES SIX IC600YB900A IC600YB900
Ge FANUC IC600YB908A IC697CPX772 模块 IC600YB908
GE FANUC SERIES ONE IC610MDL175B IC610MDL175A IC610MDL
GE FANUC IC693ALG390C IC693ALG390 ANALOG IC693ALG390D
GE FANUC IC693ALG391C IC693ALG391 IC693ALG391E
GE FANUC IC693CHS398H IC693CHS398
GE Fanuc IC660ELA100A IC660ELA100
GE FANUC SERIES SIX IC600YB929A IC600YB929
GE FANUC SERIES SIX IC600BF914K A IC600BF914 IC600YB914
GE FANUC SERIES THREE IC630PWR314A IC630PWR314
GE FANUC IC200BEM002-BA IC200BEM002 VERSAMAX
GE FANUC IC200UEX122-A IC200UEX122
GE FANUC IC693PWR331D IC697CPX772 模块 IC693PWR331
GE FANUC 90-30 IC693MDL240C IC693MDL240 IC693MDL240F
GE FANUC 90-30 IC693MDL930 OUT IC693MDL930C
GE FANUC SERIES SIX IC600CB500A IC600CB500
GE FANUC MOV 3 X V321DA40 1 X V661DA40 KIT
Ge FANUC oper. INTERFACE A05B-2022-C122 A05B2022C122
Ge FANUC MEM BUBBLE HITACHI BDGO104 A87L-0001-0016 08F
GE FANUC SERIES SIX IC600YB800B IC600YB800 IC600YB800A
GE FANUC IC647CBL708A IC647CBL708
GE FANUC IC670CHS002E IC670CHS002
GE FANUC IC800CBL065A IC697CPX772 模块 IC800CBL065 44C742430-102
GE FANUC IC800CBL023A IC800CBL023 44C742355-101
Ge FANUC IC655MDL552B IC655MDL552 SERIES FIVE
GE FANUC ROBOTICS EE-1502-021-005 EE-1502-021 C6L1 CABL
Ge FANUC IC200MDL742A ICMDL742 OUT POS LOGIC
GE Fanuc BOARD A16B-2300-0022/02B A16B-2300-0022 ,BAD
GE FANUC 24VDC IC697CPX772 模块 IN IC610MDL106A IC610MDL106
BODINE ELECTRIC MODEL 850 DC MOTOR CONTROL
GE Fanuc SERIE 90 70 IC697MDL340 MODULE
GE FANUC BUS CON MAP002 IE-0404-010-001 IE 0404 010 001
