此次开发主要解决了在半导体晶圆上形成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。同时，还提高了传感器的耐用性，降低了生产成本。作为热电转换元件的关键技术，确立了利用溅射蒸镀法形成SiGe膜之后进行热处理的薄膜成形技术。因为SiGe热电转换材料的热电特性高，非常适宜采用半导体工艺。为了使触媒不受大气中水蒸汽的影响而稳定地发挥作用，温度要维持在100℃。作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用MEMS技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。

　　在以陶瓷为支撑材料的铂触媒耐用性试验中，将新开发的微型热电式氢气传感器放置在相对温度约为65%的室温环境中，持续工作了3个月，在此期间对它对100ppm，1000ppm和1%氢气浓度的反应特性进行了测试。结果证实，性能十分稳定。此次采用普通半导体工艺，就将微型传感器集成到了硅底板上，因此该公司认为，将来还可集成处理传感器信号的电子线路，因此便于小型化，以及通过量产降低生产成本，实用潜力很大。

 
吉丁斯Giddings & LEWIS 502-03550-00R3 INPUT MODULE 16PT

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02814-08 NSFP 5020281408

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02815-01 USPP 5020281501

吉丁斯Giddings & LEWIS 401-56451-50 - DSM007P

吉丁斯Giddings&LEWIS PiC900,502-03782-00R1,5020378200R1

吉丁斯Giddings & Lewis Video Interface Module 502-02904-20

吉丁斯Giddings & Lewis Digitizing Module 502-02819-00

吉丁斯Giddings & LEWIS SSM307 MOTOR 401-34225-02

 吉丁斯Giddings & Lewis PiC900 Csm/CPU 502-03512-02R3 120v Ac O

吉丁斯Giddings & Lewis CPU Card 502-03017-21 -DI-

吉丁斯Giddings & Lewis FIFO Module 503-15613-00 -DI-

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02560-01 USPP 5020256001

 吉丁斯Giddings & LEWIS DBT 58-1099

吉丁斯Giddings & LEWIS 503-25575-00 NSPP 5032557500

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02815-00 NSPP 5020281500

吉丁斯Giddings & Lewis PC Support Module 502-03195-16 -DI-

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02814-16 USPP 5020281416

吉丁斯Giddings & Lewis RS232 Programmers Console 503-14661-00

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02906-00 NSPP 5020290600

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02814-08 NSPP 5020281408

吉丁斯Giddings & LEWIS 503-19185-02R2 NSPP 5031918502R2

吉丁斯Giddings & LEWIS 501-02025-00 USPP 5010202500

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02578-00 USPP 5020257800

吉丁斯Giddings & LEWIS 503-26897-00 I/O MODULE 8AC INPUT

吉丁斯Giddings & LEWIS 84890E NSFP 84890E

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吉丁斯Giddings & LEWIS M.1302.4080 USPP M13024080

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G & L 吉丁斯Giddings Lewis 340-T & 350-T Boring Mill Manual

吉丁斯Giddings & LEWIS M.1016.9545 NSFP M10169545

吉丁斯Giddings & LEWIS M.1016.9581 NSFP M10169581

吉丁斯Giddings & LEWIS 501-03304-00 USPP 5010330400

吉丁斯Giddings & Lewis Circuit Board 501-04918-00 5010491800

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-03548-00 USPP 5020354800

吉丁斯Giddings & LEWIS 5031345200 USPP 5031345200

吉丁斯Giddings & Lewis Service Manual Auto Bar Chucking Lathe

吉丁斯Giddings & Lewis 340-T 350-T Boring Drilling Milling

502-02908-00 吉丁斯Giddings & LEWIS - NIB -1 YEAR WARRANTY

吉丁斯Giddings & Lewis 502-03518-00R4 Output +/- 10V DC

吉丁斯Giddings & Lewis Encoder Board 502-02947-01 501-03410-01

吉丁斯Giddings & Lewis Service Manuals and Drawings

吉丁斯Giddings & Lewis CNC 800 Control Manual

吉丁斯Giddings&Lewis Service/Parts/Prints 15HS NumeriCenter

吉丁斯Giddings & LEWIS PIC900 OUTPUT MODULE 502-03674-42R1

吉丁斯Giddings & LEWIS PIC900 INPUT MODULE 502-03674-42R1

吉丁斯Giddings & LEWIS PIC900 Servo Encoder 502-03840-03R1

吉丁斯Giddings & LEWIS PIC900 Servo Encoder 502-03840-43R1

吉丁斯Giddings & Lewis Encoder Board 502-02947-01

吉丁斯Giddings Lewis Parts 15V NumeriCenter Boring Mil Manual

吉丁斯Giddings Lewis Operator Instruc 3JE 4JE Boring Manual

吉丁斯Giddings Lewis Operators Horiz Boring Milling Manual

吉丁斯Giddings & Lewis 502-03673-00-R1 Barrier 5020367300

吉丁斯Giddings & LEWIS M.1016.9581 USPP M10169581

吉丁斯Giddings Lewis PiC900 3-SLOT BACKPLATE 503-19185-00

吉丁斯Giddings & LEWIS YSS1248  502-02552-00 USPP 5020255200

吉丁斯Giddings & LEWIS M.1302.8619 NSFP M13028619

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02954-00 USPP 5020295400

吉丁斯Giddings & Lewis Hypro Double Housing Openside Planer

吉丁斯Giddings & Lewis 3JE 4JE Jig Borer Mill Control Service

吉丁斯Giddings & Lewis Numericenter 15V Parts Manual

吉丁斯Giddings & Lewis NumeriCenter 15V Programming Instruction

Gilman 吉丁斯Giddings Lewis 2170369000 Switch0027 Minisnse

501-03410-01/502-02947-01 吉丁斯Giddings & LEWIS ENCODER

吉丁斯Giddings & Lewis  YSS1248  Encoder Card 501-03410-01 502-02947-01

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02869-20 NSPP 5020286920

吉丁斯Giddings & Lewis Digitizing Reference BD -DI-

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-03214-00 NSPP 5020321400

吉丁斯Giddings & LEWIS 503-25907-01 R1 INPUT 24VDC

吉丁斯Giddings & LEWIS 10173092R2 503-25907-01 R1 INPUT 24VDC

吉丁斯Giddings & Lewis  YSS1248 3JE 4JE Jig Borer Mill Operating Instruction

吉丁斯Giddings & LEWIS 501-04218-00 USPP 5010421800

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-03700-10 USPP 5020370010

吉丁斯Giddings & LEWIS M.1302.6971 NSFP M13026971

吉丁斯Giddings & Lewis Control Board 58002986 NIB

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02869-20 USPP 5020286920

吉丁斯Giddings Lewis  YSS1248 Parts 330T Horiz Boring Milling

吉丁斯Giddings&LEWIS DYNAMIC SHUNT SR100 401-34308-00 NIB

吉丁斯Giddings & LEWIS 502-02460-00 USPP 5020246000