2、“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项“硅片集成传输系统研发和示范应用”课题。本课题针对300mm硅片传输，为刻蚀机工艺设备商提供集成、定制化的传输平台解决方案；形成IC装备集成传输平台批量化生产能力；实现集成传输平台、EFEM系列产品示范应用。CPCR-FR01B97R2M目前课题攻克了基于实时总线技术的系统操作控制器、高洁净真空技术、多工艺腔应用技术等关键技术，完成了EFEM、传输腔TM、缓冲腔LLM关键设备原理样机的制作，并对研制产品的性能指标进行了测试工作。
3、863重点项目“机器人模块化技术的典型行业应用示范”项目。重点开展我国机器人模块化标准体系、自主知识产权机器人操作系统与模块化硬件平台等关键技术的研究。目前本项目已经攻克了机器人网络化模块化控制系统、本体优化设计、机器人应用技术等关键技术，在模块化工业机器人方面完成了6kg、50kg、165kg、210kg、300kg等多种关节机器人产品开发，模块化工业机器人逐步进入汽车及汽车零部件、工程机械、电力电子、数码印刷等行业。
4、“基于物联网的工业机器人系统开发和应用”项目。CPCR-FR01B97R2M面向汽车及零部件行业基于物联网的工业机器人系统，研制机器人客户端、机器人WEB服务器、工业机器人无线通讯模块、机器人远程监控与故障诊断系统，填补我国物联网在机器人行业应用的空白。完成在通用汽车公司的示范应用，完成了系统调试工作，试运行效果良好。基于公司物联网平台，可以实现异地工业机器人系统远程监控与故障诊断，整体水平达到国际领先水平。
5、863重点项目“经济型机械加工机器人及集成应用”项目。面向焊接、注塑等作业需求，针对重型机械、塑胶行业机器人焊接、修整、注塑等作业的典型应用，研制3自由度以上经济型机械加工机器人系统。目前，完成了6Kg机器人、6Kg加长型弧焊机器人和20Kg机器人三种机器人产品样机的研制，正在进行产业化推广。
6、中国科学院院地合作项目“数字化柔性自动化成套生产线装备”项目。本项目面向汽车及零部件行业的需求，开展重载搬运机器人、AGV移动机器人、智能监控系统等数字化柔性自动化成套生产线装备核心部件的研制工作，意在打破国外在该领域的垄断地位。目前项目已完成了针对数字化柔性自动化成套生产线核心装备重载搬运机器人、AGV移动机器人、智能监控系统的示范应用和产业化推广工作。
7、863重点课题“50公斤级便携式自助观测系统开发”。CPCR-FR01B97R2M本课题面向海洋环境探测和水下观测的需求，研制具有全部自主知识产权的50公斤级便携式自主观测系统产品样机。目前，课题已经完成了样机的改进加工、陆上调试、水池试验、湖上试验和海上试验，2013年9月2日至8日，便携式自主观测系统搭载中国科学院“实验1”号科考船参加了863组织的规范化海试试验。
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FOculus FO442SB IEEE 1394 Digital CCD Firewire Camera With 50mm Lens
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HITACHI HV-D27A 3-CCD REMOTE HEAD COLOR CAMERA CONTROL UNIT WITH ADAPTER
Sorensen DLM 8-75 / DLM8-75 0-8V 75A 600W DC POWER SUPPLY
Leica Wild M3Z Stero Microscope Body and Holder
Yaskawa Omron DR2-08AC-NY41 Servopack and SGM-08AAFJ12 Servo Motor
Omron CJ1W-NC233 CJ1WNC233 2 AXES POSITION CONTROL UNIT
MOTOROLA MC55 MC5590-PK0DKQQA?9WR Wireless Scanner kit
Allied Vision MARLIN F-131B F131B FIREWIRE CAMERA + lens
OMEGA CL506 CALIBRATOR
SEMICAPS SEMSCOPE SSS9905012
Agilent E2676A InfiniiMax 6G single-ended browser probe
Mitsubishi HF-KP73 SERVO MOTOR
YASKAWA SMC 2000-1M MOTION CONTROLLER
YASKAWA A1A2CN2-FK JUSP-A1A2CN2-FK SERVO DRIVE
Copley Controls 5434AC 800-1336 LINE-POWERED DC BRUSHLESS SERVO AMPLIFIERS
YASKAWA SGM-02A5FJ12 AC SERVO MOTOR
HP 54711A ATTENUATOR
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TECHNOLOGY 80 INC 5641B CARRIER BOARD WITH 4X 800095-A
GALIL DMC-2143 4-AXIS MOTION CONTROLLER, ICM-20105 INTERCONNECT OPTO I/O
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Leybold Vacuum GmbH PTR225 Penningvac Transmitter
