TRICONEX  3008主机架背板 
 两层电源轨 ②电源端子条 ③#1电源 ④#2电源 ⑤I/O终端用ELCO接头 ⑥公共总线 ⑦I/O总线  ⑧主处理器A、B、C  ⑨左I/O 模块左I/O 模块 规范逻辑槽口 ⑩通讯模块  ○11左模块和右模块在任一特定时刻内都互为备用 
每个I/O 模块经过其对应的端子板接纳现场信号或向现场传送数据。机架相邻的物理槽位视作同一个逻辑槽位。第一个方位上放置作业模块，第二方位放置热备I/O模块。端子板经过背板顶部的Elco插头相连，一同衔接作业和热备的I/O模块。所以，TRICONEX  3008这两个模块接纳的是一样的来自端子板的信号。  
I/O总线可使信息在I/O模块和主处理器之间传送，速率为375K波特。三重化I/O总线沿着背板的底部敷设。I/O总线的每一分电路在一个主处理器与其相应的I/O模块上的相应的分电路间传递信息。I/O总线经过一组三条I/O总线缆在各机架间的延伸。 
通讯总线在主处理器和通讯模块之间传输信息，其速率为2 M波特。对机架的电力被分配在两个独立的电源轨上，并分给背板的基地。机架上的各个模块从两条电源轨上经过两层电源调理器一同汲取电力。每一块输入输出板上有四组电源调理器：一组对应一个支路（A、B和C），剩余一组用于情况指示灯。  
1.3.3 数字输入模块  
Tricon供应两种根本类型的数字输入模块：TMR和简练型。在TMR模块上，悉数要害的信道都被100%地三重化，以保证安全性和最大的运用率。在简练型模块上，只要那些保证安全运转所需的信号通路有些才被三重化。简练型模块用于低本钱比最大运用率更首要的要害安全场合。 
1.3.3.1 TMR数字输入模块  
每个数字输入模块内有三个一样的分电路（A、B、C）。尽管三个分电路都装在同一模块内，但它们是彻底彼此阻隔的，并独立运转。每个分电路可独登时对信号进行处理并在现场和Tricon之
KLA TENCOR 2131 WAFER DEFECT INSPECTION SYSTEM

KLA-Tencor Surfscan 6220 Inspection Tool AS-IS

KLA Tencor PN: 710-806051-01 rev.AO DP Board 

KLA-Tencor AIT 200mm Wafer Inspection System 8020

KLA Tencor P-1 Long-Scan Surface Profiler

KLA-Tencor Prometrix FT-600 Film Thickness Measurement

KLA Tencor 4-Channel PWM Motor Drive 098140 REV D 

KLA-TENCOR SURFSCAN 6420 USED

KLA-TENCOR PCB, MOTOR CONTROL 112976

KLA Tencor Surfscan 4500 

Wyko Veeco NT2000 Optical Profiler Zygo KLA Tencor

KLA-TENCOR SCINTILLATOR, 1700 107-009

KLA Tencor 7700M 4 Channel Motor Control 184586 REV B 

KLA TENCOR XYI ASSY 710-610391-000/?AB SN P841002056 REV

KLA-Tencor Commtech RS-232 Board 232/8-ISA 00160502-000

KLA TENCOR Surfscan 6220 Unpatterned Surface Inspection

KLA Tencor Image Processor Board PN: 770-809195-000

KLA Tencor 2131 2132 2552 Defect Wafer Inspection Sys

KLA-Tencor Prometrix FT-750 Film Thickness Measurement

KLA TENCOR IMAGE PROCESS BOARD,VME,710-8?06050-01 REV.D2

KLA Tencor PN: 710-806050-01 rev D2 CAMERA Board