PV2R13-8-136叶片泵生产制造
40MYCY14-1B定级变量轴向柱塞泵
 结构原理概述
主体部分（参见结构剖）由传动轴带动缸体旋转，使均匀分布在缸体上的七个柱塞绕传动轴中心线转动，通过中心弹簧将柱滑组件中的滑靴压在变量头（或斜盘）上。这样，柱塞随着缸体的旋转而作往复运动，完成吸油和压油动作。这种泵是依靠内控（也可以用外控）油压操纵变量机构。该泵的压力调节范围比较小，油压在3~4Mpa时产生变量后，流量迅速减小至所要求的高压流量值。这种泵实际上相当于高低压组合泵，泵的驱动功率选择可以参照压力补偿变量泵的功率选择方法进行计算。来自主体部分的高压油，进入下法兰下腔（d），当弹簧力大于作用在推杆下端面积上的液压力时，推动变量活塞向下移动，使泵的流量增加。当作用在推杆下端面积上的液压力大于弹簧的作用力时，变量活塞向上移动，使泵的流量减少。 
调节变量特性时，根据所需流量和压力变化范围，调节调整套，使泵终级压力时的流量不再发生变化，然后调整调节螺杆使泵流量刚发生变化时初始压力符合要求。 
 
MCY14-1B定量轴向柱塞泵
 结构原理概述
MCY14-1B定量轴向柱塞泵，其原理较为简单，泵的传动轴与缸体用花键联接，带动缸体旋转，使均匀分布在缸体上的七个柱塞绕传动轴中心转动。每个柱塞端部有一个滑靴，定心弹簧通过内套钢球、回程盘，将滑靴压在与轴线成一定倾斜角的斜盘上。当缸体旋转时，柱塞同时作往复运动，完成吸油和压油动作。定心弹簧通过外套将缸体压配油盘上，起初始密封作用。滑靴和配油盘均采用了油压静力平衡，不但减少了泵的磨损，而且使泵具有很高压的容积效率和机械效率。 
 
PV2R13-8-136叶片泵生产制造
很多潜在的工艺问题均与布局有关。化学机械平面化（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）中的凹陷和浸蚀、金属版印刷的光学近似效应（OpticalProximityEffects）、蚀刻负载（EtchLoading）以及许多其他的工艺特性都随着特征密度（FeatureDensity）而改变。过程工艺（ViaProcess）取决于主要层的特性，以及其本身的布局堆栈式（stacked）或非堆栈式（unstacked）。

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