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VD301技术参数：抽气率30m3/h、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率1.1kw、接口VG40、润滑油R-7

VD401技术参数：抽气率40m3/h、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率1.5kw、接口VG40、润滑油R-7

GLS小型直联型油旋片ULVAC真空泵；GLS051技术参数：抽气率50L/min、极限真空6.7 x10-4mbar、电机功率0.2kw、接口KF25、润滑油R-4；GLD小型直联型油旋片ULVAC
                    

                        

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