极限压强:10-7Pa
出气法兰:KF40
叶轮数目:多级
材质:不锈钢
转速:27500 rpm
重量:80KG
品牌:Edwards爱德华
型号:STP-iXA3305CPV
类型:半导体真空设备泵
进气法兰:ISO250F\/VG250\/250CF\/ ISO320F\/VG300\/320CF
抽速:2650 L\/s \/2050 L\/s \/3200 L\/s \/2300 L\/s