类型:磁悬浮分子泵
出气法兰:KF40
叶轮数目:多级
泵轴位置:边立式
转速:48000 rpm
重量:31KG
品牌:Edwards爱德华
型号:STP-603C
进气法兰:ISO160F
抽速:650 L\/s
极限压强:6.5 x 10-6Pa