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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
产品价格:
上架日期:2020-09-10 15:10:03
产地:美国
发货地:本地至全国
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

    上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 75, 紧凑栅极离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射.

    离子束流: >250 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝.

    加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

    考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用.

    离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰.

    离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.



    伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75技术参数:

    离子源型号

    离子源 KDC 75

    Discharge

    DC 热离子

    离子束流

    >250 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    7.5 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    2-15 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    长度

    20.1 cm

    直径

    14 cm

    中和器

    灯丝

    * 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

    伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域:

    1.溅镀和蒸发镀膜 PC

    2.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

    3.表面改性, 激活 SM

    4.离子溅射沉积和多层结构 IBSD

    5.离子蚀刻 IBE


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