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上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10
上海伯东代理美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10
产品价格:
上架日期:2020-09-10 15:13:54
产地:美国
发货地:本地至全国
供应数量:不限
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详细说明

    因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

    上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 考夫曼离子源 KDC 10, 宽束离子源,最小型号的离子源, 离子束可选聚焦/ 平行/ 散射. 适用于已知的所有离子源应用.

    离子束流: >10 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 1-5 sccm.

    加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.

    离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.

    无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.



    伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

    离子源型号

    离子源 KDC 10

    Discharge

    DC 热离子

    离子束流

    >10 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    1 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    1-5 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    长度

    11.5 cm

    直径

    4 cm

    中和器

    灯丝



    伯东KRI 考夫曼离子源 KDC 10 应用领域:

    1. 离子清洗, 显微镜抛光 IBP

    2. 溅镀和蒸发镀膜 PC

    3. 辅助镀膜(光学镀膜) IBAD

    4. 表面改性, 激活 SM

    5. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD

    6. 离子蚀刻 IBE

    若您需要进一步的了解详细信息或讨论,   请参考以下联络方式:

    上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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