产品名称：IST微流量传感器MFS

产品型号：MFS02

产品介绍

IST AG MicroFlowSens (MFS) 技术专为快速流量测量而开发。由于膜系统，热质量减少到低限度，从而导致非常快的响应时间和低功耗。除了测量流量外，MicroFlowSens 还提供灵敏度并能够检测流向。MFS 流量传感器是有限空间系统集成更合适的选择，可用作 PCB 上的集成传感器。

性能特点:

● 热式质量流量传感器

● 适合气体流量和方向的超快速测量

● 在 CTA 模式下具有高流速和快速响应时间的应用的解决方案

● 使用 CTA 模式 (10'000'000 : 1) 无旁路时具有非常高的测量动态

● 非常适合测量非常低的流量和使用桥接模式进行泄漏检测

● 对腐蚀性气体和蒸汽具有高耐化学性

● 提供不同的灵敏度和电路拓扑

● 流向检测

● 可根据要求提供客户特定的传感器布局

参数:

● 测量介质：气体流量

● 流动方向：两个方向（kalorimetric）

● 工作温度范围：-20°C至+80°C

● 芯片尺寸：5.0 x 3.4 x 0.5 mm

● 连接类型：焊盘

● 流量范围全桥模式：分别为0 m/s至1.5 m/s。0毫升/分钟至100毫升/分钟

● 流量范围CTA模式：分别为0 m/s至150 m/s。0升/分钟至10升/分钟

● 响应时间t63:<10ms

● 响应灵敏度：0.0003 m/s（20µL/min）

● 基板：玻璃

● 产地：瑞士

产品尺寸