该链(带)式炉主要由加热部分、精密温度自动控制系统、机械结构、氢氮保护装置等组成。主要用于半导体器件烧结、封焊、焊接及集成电路金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的热处理,运载能力大,并采用水、气电转换器控制传感报警及超温报警功能。设有断氢报警与自动点火装置,并设有安全联锁装置,是用户提高生产效率的理想设备
名称规格 |
链式烧烤炉(I) |
链式烧烤炉(II) |
气体保护带式炉 |
型号 |
L66800/ORB |
L6611II/ORB |
L49500/ORB |
带宽 |
80-100 |
85-250 |
42-92 |
工作高度(内) |
50-120 |
80-150 |
50-100 |
工作宽度(内) |
90-120 |
100-260 |
50-100 |
冷却区长度 |
600-800 |
800-2000 |
600 |
最高温区 |
|||
温度范围 |
200 |
500 |
200 |
恒温区长 |
400-1000 |
200-1000 |
400-600 |
控制精度 |
± |
± |
± |
带速 |
50 |
50 |
50 |
升温时间 |
90-150min |
150-210min |
90min |
N2气流量 |
0-40 |
40 |
0 |
H2气流量 |
0-40 |
40 |
0 |
升温功率 |
15-30KW |
15-40KW |
15KW |
加热方式 |
马蹄管、挂板式加热 |
挂板式加热 |
马蹄管加热 |
设备外形尺寸 |
6000×1400×600 |
7500×1410×840 |
4500×1360×560 |
控制段数 |
3-5段 |
3-6段 |
3段 |