采用低温等离子体等离子体技术处理污染物的基本原理是：介质放电产生大量的高能量电子轰击污染物分子，使之电离、解离和激发；随后引发一系列复杂的物理、化学反应，将复杂的大分子污染物转化为简单的小分子安全物质，或将有毒有害物质转化为无毒或低毒低害物质，使污染物降解去除。应用低温等离子体技术处理大气中的低浓度污染气体具有很高的处理效率，是一种性价比非常高的效率处理技术。
    本发明具有效率高，成本低，设备适应性强，占地面积小，操作方便，开停方便，与喷漆工艺同步化，可根据污染源强度和排放要求进行升级等特点。等离子体技术作为环境污染治理领域的一项具有巨大潜力的高新技术，已引起国内外相关学科的高度重视。
    单一等离子体处理有机废气效率高、副产物少，不会造成二次污染，但其能耗高、能效低是目前需要解决的问题，等离子体复合光催化技术可以弥补这一不足。等离子体催化剂选择了TiO2，它是一种半导体化合物，它只被吸收一个较短的太阳光，并激发它的活性，因此在设计反应装置时需要加入一个紫外光源。