光氧等离子净化器初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子(O2+)，而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子(O2-)，结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的离子群，具有极强的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水。
    光氧催化工作原理：
    利用的高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、三jia胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO、H2O等。
    1、利用同波段UV紫外线光束与二氧化钛板发生光触煤效应，有效裂变、氧化污染气体。
    2、利用高臭氧气UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的效果。
    3、恶臭气体利用排风设备输入到本动净化设备后，净化设备运用UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分妇化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。

    4、利用UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸(DHA)，再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。