| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | OSAKA大阪真空 | ||
| 电压 | AC200-240V | ||
| 重量 | 69KG | ||
| 驱动方式 | 电动 | ||
| 排气口法兰 | KF40/KF50 | ||
| 启动时间 | ≤11Min | ||
| 停止时间 | ≤13Min | ||
| 防护等级 | IP54 | ||
| 安装角度 | 任意 | ||
| 可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
| 材质 | 铝合金 | ||
| 型号 | TGkine-B系列 | ||
OSAKA磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列使用磁悬浮轴承实现无油的排气，而且维护周期长。提供排气速度300L/s～3400L/s的产品。
TG-M系列产品型号：
TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反应生成物 磁悬浮复合分子泵 TGkine-MI系列。
磁悬浮轴承型复合分子泵 TGkine-B系列产品特点：
■将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
使用场合：
?半导体制造设备
?FPD制造设备
?太阳能电池制造设备
?玻璃/镜片等光学元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙环境模拟设备
技术参数：
| 型号 | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
| 吸气口法兰 | VG300 ISO-B320 | VG300 ISO-B320 | VG350 | |
| 排气口法兰 | KF40/KF50 | |||
| 排气速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
| N2(附带金属防护网) (L/s) | 3100 | |||
| H2(L/s) | 2700 | |||
| 最大压缩比 | N2 | >1×108 | ||
| H2 | 3×103 | |||
| 极限压力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
| VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
| 最大气体流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
| 启动时间 | (min) | ≦11 | ||
| 停止时间 | (min) | ≦13 | ||
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
| 输入电压 | (V) | AC200-240V -15 10 | ||
| 相数 | 单相 | |||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | ||
| 电流 | (A) | Max. 5.3 | ||
| 所需电力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
| 通信接口 （规格可选） | Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
| 防护等级 | IP54 | |||
| 安装角度 | 任意 | |||
| 重量 | VG?ISO-B（kg） | 69 | ||
| 控制器型号 | 控制器与分子泵一体型 | |||
性能曲线图：
