| 产品参数 | |||
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| 高分辨率、高精度手动紫外光刻机URE-2000/25L URE-2000/25 品牌 | 鑫有研 | ||
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高精度紫外光刻机
型号：URE-2000/25 URE-2000/25L
主要技术指标：
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1.5μm（胶厚1.5μm的正胶）
对准精度：±0.8μm
最大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4（Ф100mm 范围）
汞灯功率：200W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点：
球气浮实现高精度调平；超精密手轮对准调节，单片机控制,触摸开关操作；整机精度高、性能可靠
