| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 光弛 | ||
| 重量 | 约10000kgkg | ||
| 真空室 | SUS304 | ||
| φ1550mm×1800mm (H) | |||
| 工件架 | φ1400mm | ||
| 工件转速 | 10rpm to 30rpm(可变) | ||
| 光学膜厚 | HOM2-R-VIS350A | ||
| 波长范围 | 350nm to 1100nm | ||
| 膜厚计 | XTC/3 6 | ||
| 离子源 | 17cmRF | ||
| 达到压力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排气时间 | 15分（大气压～1.3×10-3?Pa) | ||
| 基板温度 | 350℃ | ||
| 电源 | 3相 | ||
| 200v | |||
| 50/60Hz | |||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 空气压力 | 0.5MPa以上 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
