产品参数 | |||
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品牌 | 艾罗德克 | ||
颜色 | 白色 | ||
封装 | 有 | ||
批号 | 128866 | ||
数量 | 100 | ||
重量 | 10kg | ||
部件 | 直线电机 | ||
精度 | 500nm | ||
分辨率 | 1nm | ||
尺寸 | 80x80mm | ||
应用 | 检测加工 | ||
定制 | 否 | ||
工作温度 | 常温 | ||
直线度 | 10 | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
型号 | ANT130XY |
aerotech ANT130XY双轴XY纳米定位级平台
我们的超精密ANT130XY载物台采用集成的双轴设计,可提供卓越的平面性能和出色的几何特性。ANT130XY载物台配备刚性、抗蠕变交叉滚子轴承、高分辨率位置反馈和无铁芯直线电机,可实现最平稳、最精确的运动,并通过超高精度2D校准进一步增强,以优化最苛刻的检测和制造工艺。此外,动态优化的设计可实现令人印象深刻的速度和工艺吞吐量。
设计特点
增强的第二代设计
实现最小增量运动至 0.5 nm - 新
通过集成的 XY 设计优化正交性、直线度和平整度
通过 ULTRA 校准选件保证 ±225 nm 或更高的二维精度
采用高精度交叉滚子轴承,具有出色的动态性能和充足的负载能力
通过无铁芯直驱直线电机最大限度地提高过程吞吐量和可靠性
主要应用
ANT130XY非常适合需要高精度和动态定位性能的多轴应用,包括:
光子学组装和检查
光纤对准和优化
光学制造、测试和检验
传感器测试和认证
半导体加工和检测
表面计量和剖面测量
研究和实验室应用
超精密载物台设计
ANT130XY的集成双轴设计允许您优化关键的几何元素,如正交性,直线度和平整度,从而产生具有出色运动特性的载物台。我们的直接驱动技术没有滞后或间隙,可在 X 和 Y 尺寸上实现精确且可重复的纳米级运动。ANT130XY 提供三种行程选项,范围从 60 mm x 60 mm 到 160 mm x 160 mm,所有行程均具有 85 mm 的紧凑总高度。