| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | KLFLOC | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 型号 | 5400 | ||
| 货号 | 5400 | ||
5400系列
日本KOFLOC
KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器系列质量流量控制器-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定，0-5V模拟信号更加通用
KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器电气连接
| 5400质量流量控制器
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量程(N2)
| 10SCCM-20SLPM(另外50SLM)
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精度
| ±1.0FS
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重复性
| ±0.2FS
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响应时间
| 1秒以内
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耐压
| 1.0Mpa
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进口压力
| O.3Mpa
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动作压差
| 0.05-0.3Mpa
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泄漏率
| 1*10-11pa·m3/s以下
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温度范围
| 5-45℃
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湿度范围
| 10-90RH(不能结露)
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材质
| 本体SUS316L
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密封圈SUS316L、PTFE
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电气接口
| DB9
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模拟信号
| 0-5V输入/输出
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供电
| 15VDC(±5)100mA；-15VDC(±5)100mA；
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管路连接
| 标配1/4UJR
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选配1/8UJR
| |
重量
| 约1000g
|
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KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器电气连接
针脚/颜色
| 定义
|
1针脚/棕色
| 阀门全开/全闭
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2针脚/白色
| 0-5V输出
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3针脚/红色
| 15VDC
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4针脚/黑色
| 电源COM
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5针脚/黄色
| -15VDC
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6针脚/灰色
| 0-5V输入
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7针脚/绿色
| 输出COM
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8针脚/兰色
| 输入COM
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9针脚/紫色
| 阀门电源输出
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KOFLOC5400流量控制器 日本质量流量控制器使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力3公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
