产品简介
大面积紫外光刻机URE-2000D系列光刻机
大面积紫外光刻机URE-2000D系列光刻机
产品价格:¥300000.00
上架日期:2023-11-24 21:34:58
产地:上海上海
发货地:上海上海
供应数量:不限
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详细说明
    产品参数
    品牌鑫有研

    一.技术特征

    用途:在平板显示器、大尺寸光栅、码盘等刻划中具有突出的功能与用途。

    技术特点:

    1、采用3500W直流高压汞灯;

    2、 采用蝇眼透镜实现高均匀照明;

    3、 实现超大面积光刻;   

    4、采用CCD自动对准,自动化程度高;

    5、性能可靠、操作方便。

    主要技术指标:

    1、 曝光面积:430 mm×430 mm; 

    2、分辨力:3μm;

    3、对准精度:≤±1μm ;      

    4、掩模尺寸:16英寸、17英寸、18英寸、20英寸;

    5、照明均匀性:±10(430 mm×430 mm范围);

    6、掩模相对于样片运动行程:X: ±6mm; Y: ±6mm;θ: ±6度;

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