SOGEVAC 和 TRIVAC系列前级泵与RUVAC WA(U)、 WS(U)、WH(U) 和 RA系列罗茨泵组合 成 2 到 3 级RUTA罗茨机组。单套机组实现 250 16000m3/h 抽速，可以通过添加并联机组，获得更高的抽速。真空机组是前级泵加罗茨泵的组合机组，在一些真空度要求较高的工艺，还会有增加扩散泵和分子泵。除此外，在一些真空干燥，脱泡工艺，都会使用真空机组来完成工艺要求。
?当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。
我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。