| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | horiba | ||
| 产品特性 | EP级内抛光 | ||
| 是否进口 | 否 | ||
| 产地 | 日本 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 测量范围 | 1.2m3/h | ||
| 精度等级 | 1 | ||
| 公称通径 | 6mm | ||
| 适用介质 | 腐蚀性气体 | ||
| 工作压力 | 1MPa | ||
| 工作温度 | 25℃ | ||
| 规格 | Z512、Z514 | ||
| 输出信号 | 0-5V，或者RS485 | ||
| 接口尺寸 | 1/4MVCR | ||
| 洁净度等级 | EP级 | ||
| 适用设备 | 半导体设备 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 类型 | 质量流量计 | ||
| 型号 | Z522 | ||
供应Horiba 数字式质量流量计Z524、Z522 流量计
流量20SLPM 30SLPM ,腐蚀性气体
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型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。
可选 数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可选 模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
国内组装模拟型：HoribaS48 28、horiba S48 32、S300
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212??????
产品概述
日本horiba Z522、Z524数字式质量流量控制器属于SEC-500X系列， 数字式质量流量控制器多用于进口设备的PEVCVD、MOCVD中，国内多回收、二次销售，我公司提供 Z524、Z522，保修期1年。
产品特点
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地 气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超 ±1.0 S.P. (25- F.S.); ±0.25 F.S. (≤25 F.S.);
3) 快速响应 lt;1秒>4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以zui大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)；
?SUS 316L不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)
产品参数
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规格-数字-模拟转换模式? |
| 型号*1SEC-Z512、Z514SEC-Z512MGXSEC-Z522MGXNSEC-Z522MGXSEC-Z514MGXSEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX全标准流量(N2 转换流量)1/2SCCM10SCCM-10SLPM10-50SLM阀门类型O: 通常打开 C: 通常关闭完全关闭控制阀时的流量≤ 2 F.S.流量测量范围0- of F.S 性*2±1.0F.S.±1.0S.P.(流量>25F.S.)±0.25F.S.(流量≤25F.S.)工作温度5 -50°C (建议温度范围: 15 -45°C)响应≤ 1 秒:超过全流量范围直线性≤ ±0.5 F.S.反复性≤ ±0.2 F.S.工作压差值≤ 300 kPa (d)zui大工作压力450 kPa (g)耐压1000 kPa (g)外部泄漏率≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)流量设定信号0.1 - 5 V DC (2 - F.S.); 输入阻抗 1 MΩ 或更高流量输出信号0 -5 V DC (0 - F.S.); zui小负荷阻力 2 kΩ 或更高数字界面地址功能: RS-485 (转换速度 38,400 bps)F-Net 协议,DevceNet接液部材质316L 不锈钢(表面抛光)电源 15V±5 150mA-15V±5 150mA信号反应模拟: D-Sub 9-pin (TOP)数字: 2 LAN jacks (TOP)标准接头*31/4 inch VCR1/4 inch VCR1.5 inch IGS选择: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS可选1.125 inch IGS安装方向自由 ? |
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN气体类型以及全范围设定由操作者运用特殊软件改变。 订购注意： ?请提供产品的介质名称、气体量程、接口尺寸。 如是设备备件的更换，请提供原产品的背面图片和侧面图片、顶部图片。 ? |
本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器 质量流量控制器
进口数字型号: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG
进口 数字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。
进口 模拟型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、
国内组装模拟型：Horiba S48 28、horiba S48 32、
国内组装数字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。
Horiba液体流量控制器LV-F20 PO、LV-F30?PO、LV-F30?PO、LV-F40 PO、LV-F
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