| 超高真空光栅 | ||||||||||||||||||||||
| TONiC UHV | ||||||||||||||||||||||
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| 概述 | ||||||||||||||||||||||
| TONiC UHV圆光栅读数头与雷尼绍带有IN-TRAC™光学零位的精密圆光栅兼容，包括RESM和REXM超高精度圆光栅。这些光栅系统在超高真空条件下提供保真度非常高的位置反馈。TONiC UHV圆光栅在2010年第二季度上市，用于高性能和可靠性要求极高的半导体和科学应用。 | ||||||||||||||||||||||
| 高性能TONiC增量式读数头 | ||||||||||||||||||||||
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所有TONiC读数头均使用最新一代雷尼绍光学滤波系统，经过优化，噪声超低。包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏移量控制 (AOC) 在内的动态信号调整进一步增强了先进的光学系统设计。因此，输出信号具有无与伦比的信号纯度，细分误差 (SDE) 为±30 nm，噪声（抖动）达0.51 nm RMS，分辨率达0.00075角秒。 所有TONiC栅尺均包括直接嵌入到增益通道中的独特IN-TRAC光学零位，只需单击按钮即可以方便地实现自动电子调相 — 因此，这一功能也可远程执行。IN-TRAC光学零位还具有在所有速度和整个工作温度范围内保持相位一致的优点。 |
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| 高精度单片式不锈钢圆光栅 | ||||||||||||||||||||||
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RESM圆光栅由没有涂层的单片式300系列不锈钢制成，这意味着它可按照需要进行专业清洗和去脂。该圆光栅具有一个大通孔和小截面，因此简化了设计，同时还最大程度降低了质量和转动惯量。此外，它采用雷尼绍具有专利的锥面安装方式，可提供一种实现精细调整的简单方法，而且在很宽的温范围内具有高水平的稳定性。用于UHV应用的RESM圆光栅供有直径范围从52到550 mm的尺寸，还可根据要求提供定制尺寸或更大直径。 对于最高性能的轴，TONiC UHV还可与REXM超高精度圆光栅兼容。与读数头配合使用时，直径超过100 mm的REXM圆光栅总体安装精度优于±1角秒。增加第二个读数头现在变得非常容易，得益于DSi双信号接口兼顾增益通道和光学零位信号组合，因此输出对于控制器来说相当于一个精度非常高的光栅输入。 TONiC UHV读数头由精选的低出气率材料和粘合剂在指定的洁净条件下制造而成。该产品封装在一个真空兼容袋中以维持清洁。 |
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| 残留气体分析 (RGA) 测试结果 | ||||||||||||||||||||||
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通过独立残留气体分析 (RGA) 测试证明整个系统适用于洁净真空条件。它还适用于超真空中使用的120摄氏度的烘焙。 典型应用包括晶片处理、晶片检测和科研。
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