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近日,由中科院长春光机所承担的重大科研装备研制项目”大型高精度衍射光栅刻划的研制”顺利通过验收这标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到水平,结束了我国在高精度大尺寸光栅制造领域受制于人的局面。衍射光栅(以下简称光栅)是一种具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件。它作为核心色散单元器件,在光谱学、天文学、激光器、光通讯等诸多领域中具有重要应用价值。光栅面积大可高集光率和分辨本领,精度高可更好的信噪比,但同时将光栅”做大”和”做精”属于性难题。我国战略高技术领域所需要的高精度大尺寸光栅受到国外严格。随着科学技术的发展,大面积高精度中阶梯光栅已经成为制约我国相关领域技术发展的”短板”,此类光栅研制也是各光栅强国之间展开竞争的焦点。2008年,在科学院和共同支持下,长春光机所开始”大型高精度衍射光栅刻划”的研制工作,目标为研制一台刻划面积属之、技术水平达的大型高精度衍射光栅刻划机,突破精密机械加工、精密光学加工、精密检测、高精度微位移控制等一系列关键技术,并研制出面积达400毫米×500毫米的中阶梯光栅。