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低温等离子技术在是废气处理的前沿技术，对烟尘处理方面优势显著。其基本原理是在电场在高压作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时， 分子键断裂，达到消除气态污染物的目的。
由于辐射摩擦等原因，空气中含有少量的自由离子，单靠这些自由离子是不可能使含尘空气中的尘粒充分荷电的。因此，要利用静电使粉尘分离须具备两个基本条件，一是存在使粉尘荷电的电场；二是存在使荷电粉尘颗粒分离的电场。一般的静电除尘器采用荷电电场和分离电场合一的方法。
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