代理德国苏斯微SUSS MicroTec喷墨打印机、涂胶机与显影机、光刻机、贴片机、俺膜机

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ACS200 Gen3 TE涂胶显影机：最大化产能的全自动平台
SUSS ACS200 Gen3 TE平台将ACS200 Gen3这款非常成功且市场熟知的产品提升到了一个新的高度。不仅在产能上有了显巨提高，在操作和维护上也更加舒适。SUSS ACS200 Gen3 TE能够提供非常灵活的模块和技术配置，以满足先进封装、MEMS、LED和其他市场的要求，并为研发和HVM提供服务。
介绍：
基础框架经过重新设计，可配置多达6个旋转工艺模块，并可在这些模块上方配置冷热板组。此外，动态对中（IMOC）功能的引入，即晶圆传送时的“动态”定心，进一步提高了整体产能。为了满足最新的ESD标准，并为操作员和技术人员提供更高的舒适度，该平台已经进行更新。第二屏幕可根据个人需要进行配置，可以用来显示摄像头以及设备/模块的状态，并且可以处理测量数据。外围配套设备也得到了显著改进，特别是新推出的Flexi Media Cabinet，整洁、标准化程度高。由于采用PiXDRO技术的SUSS JETx喷墨模块已完全集成到该平台中，使得该平台支持下一代材料沉积技术，且仍具有添加其他模块的能力。同时，已经引入了标准制造接口（SMIF）加载端口。此外，流量控制器系统为有机溶剂和显影工艺应用提供了非常出色的喷液精度。
ACS200 Gen3 TE平台将继续提供的敞开式腔体涂布和SUSS专有的GYRSET?闭盖式涂布技术。广为接受的腔体设计将保持不变，因此能够实现将工艺从之前的平台到现在的轻松转移。
亮点：
多达6个旋转工艺模块
采用动态对中(IMOC)提高晶圆传送效率
超高的配置灵活性
可实现自动化系统的喷墨技术
操作舒适性高
标准制造接口(SMIF)负载端口
详细情况 : 显影工艺
浸置式显影
喷雾显影
在此工艺中，一定量的显影剂被滴在曝光后的衬底上，并通过适度的旋转分散开。 显影液因其表面张力在晶圆上形成凸状的液面（“Puddle”）。 当显影时间结束后，通过提高旋转速度甩干晶圆上的显影液。 然后，用去离子水冲洗晶圆并同样提高转速甩干。 这种方法的优点是，只需使用少量显影液，就能提供优异的显影结果。浸置式显影法不得用于显影液达到饱和时，例如当必须除去大量显的光刻胶时或者凹凸图形阻碍了更换显影液时。 在这些情况下，需多步使用浸置式显影或者使用喷涂式显影 。

德国SUSS MicroTec主要产品：
一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机：
自动涂胶机与显影机：ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
半自动涂胶与显影机：RCD8、ECD8
手动涂胶机与显影机：LabSpin6 / LabSpin8
二、喷墨打印机
JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
三、光刻机、掩模对准机
全自动：MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
半自动：MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
手动：MJB4
四、测量系统
全自动:DSM8/200 Gen2
五、晶圆结合系统、自动贴片机
全自动：XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
半自动： BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
六、光掩模设备
全自动：MaskTrack Pro系列、ASx Serie
半自动：HMx Serie
七、投影扫描光刻机
全自动：DSC300 Gen3

韩国AUTOFLOW：
一、气体流量计
AMF-4003、AMF-4008
AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
AMF-6012、AMF-6019
二、质量流量计   AVA-420
三、超声波流量计
AUDS系列：
AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
四、热式质量流量传感器：VA 420
五、涡街流量计： AVT2000    AVT4000   AVT5000
六、涡轮流量计:Vision 1000  Vision 2000

韩国SAMWOO
一、压力测量
压力变送器：APT-3100、APT-3200、7MF 4333、7MF 4633、7MF 4533、7MF 4433、7MF 4233、7MF 4033
2600T系列压力变送器
264DS型差速器
264PS型压力表
264VS绝对型
型号：264DS、264GS、264HS、264AS
压力开关：P990、P970、P961,P962,P963,P964,P965、P953、P940、P930、P920、P912,P913,P914、P910,P911
超高纯度压力表：PT840、P840-1、P840、P830、P820、P810
卫生级压力表：P757、P750
高温压力表：P740
隔膜密封型压力表：  P730、P720、P710
指示差压表：P651,P652,P653,P654,P655、P641,P642,P643,P644,P645
电接点差压表：P621,622,623,624,625、P620,630
SF6气体密度监测仪：P590
镀铬锌壳电接点压力表：P542,P543
压力指示开关：P535、P536
钢壳电接点压力表：P531,532,533,534,537,539
电动压力表：P520、P510、P500
低压表：P440、P430、P428、P429、P421、P410、P420、P359、P339
工业压力表：P330
充液压力表：P259、P258、P257、P253、P252、P229, P335、P222、P221、P253
接收仪：P228
重型使用压力表：P163
通用压力表：P140、P110
测试压力表：P119
氟利昂气体服务压力表:P112
氨用压力表:P111

【二】温度测量
带焊接连接的棒材热套管：A630、A631、A632
带法兰连接的棒材热电偶套管：A610、A611、A612
带螺纹连接的棒材热套管：A600、A601、A602
管式热电偶套管：A500、A510
电阻式温度检测器：R221、R222
铠装热电偶：R121,R122
滑石保护管热电偶：R111/R112
温度发射机：ATT-2200、ATT-2100
显示器：7NG3132、7NG3120头戴式、TTR200、
温度变送器：TTH200、TTH300、TTF300、
温度计：T751,T752,T753,T754
温度开关：T990、T953
防雨温度开关：T941,942
指示温度开关：T931,932
电接点远读温度计：T761,762,763,764
带铝壳和电触点的直读温度计：T721,722,723,724
铝壳电接点远读温度计：T711,712,713,714
电接点温度计：T521,522,523,524,525
感应式接触式温度计：T501,502,503,504,505
玻璃温度计：T400
安全型直读温度计：T359、T259、T250
带可调杆的直读温度计：T290
重型服务远程读取温度计：T263
无油远程读数温度计：T239、T230、T219
无油直读温度计：T229、T220
铝壳直读温度计：T222
铝壳远读温度计：T212、T210
密封外壳温度计：T191
温度计：T190、T120、T114、T112、T111、T110
温度记录仪：T930、T920
温度变送器：MTM

【三】液位测量
液位开关；MWBS-TR-01、MWBS-RC-01、
液位开关电极类型：HE系列
液位开关：HQ-6636系列
液位开关桨叶式：HLV-300系列
振动型液位开关：HNV-970、HTM-230, HTM-430
液位开关HR/F型：HCC-96RF-R
LEVEL SWITCH电容式：HPC-509N、HCC-75P系列
液位开关磁浮式：HM-12S
液位开关磁浮式：HR-30S
液位开关浮子式：HM-90SE、HM-95系列
液位开关置换器类型：HM-90
二色式量规：L500、L510
管状压力表：L400
磁性浮子式液位计：L300
透明式液位计：L200
照明器：L150、L250
加热/之字形液位计：L130、L230
无霜型液位计：L120、L220
大室式液位计：L110、L210
反射式液位计：L100

韩国ULFA
ADT系列差压仪表
AIT 差压仪表
PATM差压仪表
PMI 差压变送器和开关
USP 差压变送器
PAT 差压变送器
TML数字温度计

韩国DAEKWANG
温度传感器：
TS0001、TS0002、TS0003、TS0004、TS0005、TS0006、TS0007、TS0008、TS0009、TS00010、TS00011、TS00012、TS00013、TS00014、TS00015、TS00016、TS00017、TS00018、TS00019、TS00020、TS00021、TS00022、TS00023、TS00024、TS00025、TS00026、TS00027、TS00028、TS00029、TS00030、TS00031、TS00032、RS0001、RS0002、RS0003、RS0004