产品简介
AD12英寸喷淋显影系统德国SUSS MicroTec
AD12英寸喷淋显影系统德国SUSS MicroTec
产品价格:¥1000
上架日期:2025-01-03 10:03:26
产地:本地
发货地:深圳
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    代理德国苏斯微SUSS MicroTec喷墨打印机、涂胶机与显影机、光刻机、贴片机、俺膜机

    详询请致电:吴工 132,4667.5433


    AD12英寸喷淋显影系统
    AD12系统可以满足所有最新的喷淋显影技术的需求,最大可用于直径12英寸的圆片和9英寸×9英寸的方形基片和掩模。
    也可以选装晶圆清洗模块。
    亮点:
    凭借多样的喷液技术,在工艺通用性方面表现出色
    专为水基工艺而设计
    高安全性标准
    介绍:
    一、卓越的灵活性
    AD12通过使用优化的卡盘能够处理许多不同种类的基材,从而展示了其多功能性。即使是脆弱的基材(如InP、GaAs)也能被安全地处理。特殊的工具和广泛的易于调整的工艺参数使AD12适用于许多涉及水介质的工艺应用。由于能够对参数进行编程,如步进时间、旋转速度、加速和减速、点胶臂位置和旋转运动,该系统可以优化工艺流程,从而获得可重复的、稳定的工艺结果。AD12配备了SUSS MicroTec公司先进的点胶技术,有效地支持开发和清洗。
    二、复杂的喷点技术
    AD12为不同的工艺需求提供了广泛的喷点技术。可以运行多种工艺:从简单的水坑或喷雾显影,到需要浸泡和最后冲洗的水坑点胶,再到需要高压将抗蚀剂和金属升起的升华。上述所有的喷点技术都可以在AD12的喷点臂上配置。
    三、智能溶剂型介质系统
    AD12是为处理水基介质的特殊需求而定制的。所有与工艺化学品接触的部件都由不易受影响的材料制成。排水口可以连接到室内排水口或废物罐。
    介质被安全地储存在配备有排气接口的介质库中,并由渗漏检测器加以保护。流量控制系统和压力调节器管理介质。可以选择控制介质温度,以确保工艺效果。可以安装介质的再循环系统,以减少整个介质的消耗。
    四、操作简单、安全


    德国SUSS MicroTec主要产品:
    一、旋转涂胶机和喷雾涂胶机:
    自动涂胶机与显影机:ACS300 Gen3、ACS300 Gen2、ACS200 Gen3、ACS200 Gen3TE
    半自动涂胶与显影机:RCD8、ECD8
    手动涂胶机与显影机:LabSpin6 / LabSpin8
    二、喷墨打印机
    JETxSM24喷墨打印机、JETx喷墨打印机、LP50打印机
    三、光刻机、掩模对准机
    全自动:MA300 Gen3、MA200 Gen3、MA100/150e Gen2
    半自动:MA12 Gen3、MA8 Gen5、MA/BA Gen4 Series
    手动:MJB4
    四、测量系统
    全自动:DSM8/200 Gen2
    五、晶圆结合系统、自动贴片机
    全自动:XBC300 Gen2 D2W/W2W、XBC300 Gen2、XBS300、XBS300W2W、XBS200
    半自动: BA Gen4 Serie、DB12T、LD12、SB6/8Gen2、XB8
    六、光掩模设备
    全自动:MaskTrack Pro系列、ASx Serie
    半自动:HMx Serie
    七、投影扫描光刻机
    全自动:DSC300 Gen3


    韩国AUTOFLOW:
    一、气体流量计
    AMF-4003、AMF-4008
    AMF-5003、AMF-5006、AMF-5008、AMF-5012、AMF-5019
    AMF-6012、AMF-6019
    二、质量流量计   AVA-420
    三、超声波流量计
    AUDS系列:
    AUDS-100P-1/AUDS-100P-2
    AUDS-100H/AUDS-100M/AUDS-100Y
    四、热式质量流量传感器:VA 420
    五、涡街流量计: AVT2000    AVT4000   AVT5000
    六、涡轮流量计:Vision 1000  Vision 2000

    韩国SAMWOO
    一、压力测量
    压力变送器:APT-3100、APT-3200、7MF 4333、7MF 4633、7MF 4533、7MF 4433、7MF 4233、7MF 4033
    2600T系列压力变送器
    264DS型差速器
    264PS型压力表
    264VS绝对型
    型号:264DS、264GS、264HS、264AS
    压力开关:P990、P970、P961,P962,P963,P964,P965、P953、P940、P930、P920、P912,P913,P914、P910,P911
    超高纯度压力表:PT840、P840-1、P840、P830、P820、P810
    卫生级压力表:P757、P750
    高温压力表:P740
    隔膜密封型压力表:  P730、P720、P710
    指示差压表:P651,P652,P653,P654,P655、P641,P642,P643,P644,P645
    电接点差压表:P621,622,623,624,625、P620,630
    SF6气体密度监测仪:P590
    镀铬锌壳电接点压力表:P542,P543
    压力指示开关:P535、P536
    钢壳电接点压力表:P531,532,533,534,537,539
    电动压力表:P520、P510、P500
    低压表:P440、P430、P428、P429、P421、P410、P420、P359、P339
    工业压力表:P330
    充液压力表:P259、P258、P257、P253、P252、P229, P335、P222、P221、P253
    接收仪:P228
    重型使用压力表:P163
    通用压力表:P140、P110
    测试压力表:P119
    氟利昂气体服务压力表:P112
    氨用压力表:P111

    【二】温度测量
    带焊接连接的棒材热套管:A630、A631、A632
    带法兰连接的棒材热电偶套管:A610、A611、A612
    带螺纹连接的棒材热套管:A600、A601、A602
    管式热电偶套管:A500、A510
    电阻式温度检测器:R221、R222
    铠装热电偶:R121,R122
    滑石保护管热电偶:R111/R112
    温度发射机:ATT-2200、ATT-2100
    显示器:7NG3132、7NG3120头戴式、TTR200、
    温度变送器:TTH200、TTH300、TTF300、
    温度计:T751,T752,T753,T754
    温度开关:T990、T953
    防雨温度开关:T941,942
    指示温度开关:T931,932
    电接点远读温度计:T761,762,763,764
    带铝壳和电触点的直读温度计:T721,722,723,724
    铝壳电接点远读温度计:T711,712,713,714
    电接点温度计:T521,522,523,524,525
    感应式接触式温度计:T501,502,503,504,505
    玻璃温度计:T400
    安全型直读温度计:T359、T259、T250
    带可调杆的直读温度计:T290
    重型服务远程读取温度计:T263
    无油远程读数温度计:T239、T230、T219
    无油直读温度计:T229、T220
    铝壳直读温度计:T222
    铝壳远读温度计:T212、T210
    密封外壳温度计:T191
    温度计:T190、T120、T114、T112、T111、T110
    温度记录仪:T930、T920
    温度变送器:MTM

    【三】液位测量
    液位开关;MWBS-TR-01、MWBS-RC-01、
    液位开关电极类型:HE系列
    液位开关:HQ-6636系列
    液位开关桨叶式:HLV-300系列
    振动型液位开关:HNV-970、HTM-230, HTM-430
    液位开关HR/F型:HCC-96RF-R
    LEVEL SWITCH电容式:HPC-509N、HCC-75P系列
    液位开关磁浮式:HM-12S
    液位开关磁浮式:HR-30S
    液位开关浮子式:HM-90SE、HM-95系列
    液位开关置换器类型:HM-90
    二色式量规:L500、L510
    管状压力表:L400
    磁性浮子式液位计:L300
    透明式液位计:L200
    照明器:L150、L250
    加热/之字形液位计:L130、L230
    无霜型液位计:L120、L220
    大室式液位计:L110、L210
    反射式液位计:L100

    韩国ULFA
    ADT系列差压仪表
    AIT 差压仪表
    PATM差压仪表
    PMI 差压变送器和开关
    USP 差压变送器
    PAT 差压变送器
    TML数字温度计

    韩国DAEKWANG
    温度传感器:
    TS0001、TS0002、TS0003、TS0004、TS0005、TS0006、TS0007、TS0008、TS0009、TS00010、TS00011、TS00012、TS00013、TS00014、TS00015、TS00016、TS00017、TS00018、TS00019、TS00020、TS00021、TS00022、TS00023、TS00024、TS00025、TS00026、TS00027、TS00028、TS00029、TS00030、TS00031、TS00032、RS0001、RS0002、RS0003、RS0004

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