5635型Aerobar MP静电消除器是一款超低颗粒兼容产品，用于要求精细颗粒管理小于等于100nm的场所的静电消除，包括先进的半导体制造工艺。

单晶硅电极在全球范围内具有无与伦比的采用记录，避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险
通过原始MP（脉冲调制）方法有效地将离子带入目标的高效静电消除
即使在100毫米距离和离子平衡下也可以使用小的潜在摆动特性，而且在棒长度上几乎没有偏差
智能控制电路自动管理离子发生状态和离子平衡
可拆卸1/4圈可更换电极有助于减少维护工时
由于MP系统的特点，潜在摆幅非常小，所以设置简便同时，小幅摆幅有效地将长期离子平衡保持在管理标准之内
设置半导体前端EFEM对应的长度条
24 V DC驱动控制器的紧凑设计
高水平的全球支持网络
输入电压24 V DC +/- 10％，输出电压高达约13.5 kv p - p可调
臭氧含量<0.05 ppm（24小时综合值） 信号输出报警IO开路集电极输出
尺寸高度78毫米x长度34毫米x长度如下 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/ 1900/2050/2200/2350毫米
外部ABS树脂