VMU仪器特点
◆ 高端配置，超精密全自动测量，四轴CNC控制；
◆ 三轴THK精密线性滑轨、精密传动系统；
◆ Renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ Navitar自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 全鼠标、手柄操作，简单易用；
◆ 可程控6环8区环形表面光源，LED轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ Vispec全自动影像测量软件（高端版）；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
VMU技术参数
型号 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 |
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行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
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外部尺寸(mm) |
1040×700×1620 |
1040×700×1620 |
1240×800×1620 |
1440×900×1620 |
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重量(kg) |
150 |
160 |
200 |
250 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
25 |
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测量精度 |
XY轴* |
E2=(2.0+L/300)µm |
E2=(2.5+L/300)µm |
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Z轴** |
E1=(5.0+L/200)µm |
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速度 |
XY轴 |
200mm/S |
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Z轴 |
100mm/S |
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光栅尺 |
Renishaw光栅尺，0.4µm分辨率 |
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CCD |
SONY 1/2"CCD黑白/彩色 |
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光源 |
轮廓光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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表面光 |
6环8区LED冷光源，各段独立操控，256级亮度可调 |
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同轴光 |
LED冷光源，256级亮度可调 |
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光学系统*** |
Navitar 6.5:1可变倍，放大倍率29～163或58～326 |
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软件 |
Vispec测量软件（高端版） |
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运动控制 |
自主专利的CNC直流伺服系统 |
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保修期 |
1年 |
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工作环境 |
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80% |
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振动<0.002g，低于15Hz |
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电源 |
220V/50Hz/10A |
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*L表示测量长度，以毫米为单位。
**Z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
***放大倍率为近似值，具体值与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关。
