特征
应用/结果示例
基本规格
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/平板型电极 |
| 适用对象 | 金/铂/金-钯/铂-钯/银/钯/钨/镍/钼/铬/钛/铝 |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 |
针阀手动控制 引入直径外径φ6mm一键式安装 |
| 工艺气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 直联式旋转泵：20L / min（带自动泄漏） |
| 箱体尺寸 | 内径φ90×D90mm（SUS制） |
| 样品交换方法 | 前门开合式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm |
| 重量 | 身体：9公斤RP：9公斤 |
