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日本electron台式快速涂布机SC-701AT
日本electron台式快速涂布机SC-701AT
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上架日期：2021-03-05 16:30:49
产地：本地
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详细说明

    日本electron台式快速涂布机SC-701AT

     

     

    特征

    • 排气→涂层（蚀刻）→全自动，直到进入大气
    • 尽管是紧凑型，但仍可以进行膜厚控制（简单型）
    • 全自动溅射设备，操作简便，重现性高
    • 配备涂层/蚀刻模式
     

    应用/结果示例

    • 各种设备的电极膜附件
    • 用于制造反射薄膜等的应用
     

    基本规格

    阴极 φ2英寸/ 2极电极
    溅射靶 包含金靶
    蚀刻目标 包括Al目标
    膜厚设定方法 预设方法/带膜厚监视器的数字显示
    气体导入机制 针阀
    真空泵 直连式旋转泵：20l / min（带自动泄漏）
    排气操作 自动的
    箱体尺寸 内径φ120mm x D120 mm（SUS制）
    样品交换方法 前门开合式
    尺寸（宽/深/高） 主体：225/420 / 320mm 
    RP：300/160 / 200mm
    重量 身体：15公斤
    RP：9公斤
     
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    深圳市秋山贸易有限公司
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