产品简介
日本electron台式快速涂布机SC-708系列
日本electron台式快速涂布机SC-708系列
产品价格:¥1
上架日期:2021-03-05 16:41:20
产地:本地
发货地:本地至全国
供应数量:不限
最少起订:1台
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详细说明

    特征

    • 离子溅射设备,用于大型基材的全涂层
    • 溅射靶材的尺寸为1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
    • 在形成微通道流动路径以及溅射薄膜制造时支持PDMS表面处理
    • 配备涂布模式/蚀刻模式


    应用/结果示例

    • 各种设备的电极膜附件
    • 膜的制造应用
    • 样品表面亲水处理的应用(蚀刻模式)
    • PDMS表面处理应用程序(蚀刻模式)等


    基本规格

    阴极 φ4-8英寸/ 2极电极
    溅射电流
    蚀刻电流
    0-50mA(包括电流表)
    溅射电压
    蚀刻电压
    0.8 / 1.4kV
    气体导入机制 针阀
    真空泵 直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏)
    箱体尺寸 内径φ240mmx D240mm(SUS制)
    样品交换方法 前门开合式
    样本量 φ4〜8英寸
    尺寸(宽/深/高) 主体:282/450 / 440mm 
    RP:460/175 / 265mm
    重量 身体:约20kg 
    RP:23kg

       

    特殊规格示例

    SC-704AT
    SC-704AT
    薄膜厚度可控的全自动模型
      SC-704MC
    采用SC-704MC
    磁控管阴极模型
    (无蚀刻/交流溅射功能)
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