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洁净室、净化工程

净化工程是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、---等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，净化工程而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 净化工程---主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间的设计施工过程我们称之为净化工程。

一、什么是洁净厂房、洁净厂房是空气中悬浮粒子受控的生产空间。它的设计、建造和使用应尽量减少室内诱入，产生和带菌粒子。室内其它有关参数，如：温度、相对湿度、压力等也按要求进行控制。

二、洁净室的分类、洁净室的分类方法很多，但---多的分类方法是按洁净室的使用性质和洁净室的气流流型来分。

1. 按洁净室的使用性质划分为：①工业洁净室。例如电子工业、机械工业、化工工业等用的洁净室。②化妆品、生物洁净室。例如生物制药、食品、实验动物饲养，洁净手术部等。③生物---实验室。研究高危害性、传染性、---病毒等微生物的洁净室。

2.  按洁净室的气流流型划分为：①单向流洁净室(垂直单向流和水平单向流)。②非单向流洁净室③混合流洁净室(即单向流和非单向流组合气流构成的洁净室。④矢流洁净室(放射流、对角流)。

洁净室施工及验收规范---章总则

第1.0.1条为了在洁净室（含装配式洁净室，下同）施工中，贯彻---有关的方针政策和统一施工验收要求，统一检测方法，做到保证工程质量、节约能源、保护环境和---操作，特制定本规范。

第1.0.2条本规范适用于新建和改建的工业洁净室和一般生物洁净室的施工及验收，不适用于有生物学---要求的特殊生物洁净室的施工及验收。

第1.0.3条洁净室必须按设计图纸施工，施工中需修改设计时应有设计单位的变更通知。没有图纸和技术要求的不能施工和验收。

第1.0.4条洁净室施工前应制订详尽的施工方案和程序，施工中各工种之间应密切配合，按程序施工。先行施工的工种，不得妨碍后续的施工。

第1.0.5条工程所用的主要材料、设备、成品、半成品均应符合设计规定，并有出厂合格证或质量鉴定证明文件。对质量有怀疑时，必须进行检验。过期材料不得使用。

第1.0.6条洁净室施工过程中，应在每道工序施工完毕后进行中间检验验收，并记录备案。

第1.0.7条洁净室的施工及验收除执行本规范外，还应符合---现行的有关---的规定。

第二章建筑装饰

第2.1.1条洁净室建筑装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行，其内容包括室内装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。

第2.1.2条洁净室建筑装饰施工进度安排应与其他---工种制订明确的施工协作计划，按程序施工互相配合。施工主要程序见附录二。

第2.1.3条洁净室建筑装饰施工除应符合现行------《装饰工程施工及验收规范》GBJ210和《地面与楼面工程施工及验收规范GBJ209的

要求外,还应保证施工的气密性，减少施工作业的发尘量和保持施工现场的清洁。有防腐蚀要求时,还应符合现行------《建筑防腐蚀工程施工及验收规范》TJ212的规定。

第2.1.4条洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低于10℃，但对特殊的装饰工程，应按装饰材料说明书要求的温度施工。

第二节材料要求

第2.2.1条用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成份、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书以及产品合格---。不得使用过期产品和未经鉴定的产品。

第2.2.2条洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号；水磨石地面应现浇，所用小石子直径为6～15mm，水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。

第2.2.3条洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为---抹灰，养护时间应充分。不得采用受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料。

第2.2.4条洁净室使用的木材的含水率不应大于16%,并且不得外露使用；石膏板、胶合板和木龙骨应做防潮处理或采用防水石膏板；生物洁净室不应使用木材和石膏板作表面装饰材料。

第三节构造与装饰要求

第2.3.1条预埋在钢筋混凝土构件和墙体上的铁件、木框等应牢固，木砖和木框应做防腐处理，预埋铁件外露部分和吊杆支架应做防锈或防腐处理。

第2.3.2条不同材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙缝隙密封宽度1—弹性密封材料；2—钢窗框；3—窗台板；4—设备外框；5—钢龙骨隔墙

第2.3.3条所有建筑构配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联，不应与设备支架（如传送带吊杆、风管吊杆以及有振动的设备）和管线支架相联接。

第2.3.4条建筑装饰及门窗的缝隙应在正压面密封。

第2.3.5条改建工程在隔墙拆移、打洞、管线穿墙和穿楼板等施工后，应修补牢固，表面进行相应装饰，防止积尘掉灰。

第2.3.6条管线隐蔽工程应在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围应修补平齐，严密，清洁，并用密封材料嵌缝。隐蔽工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。

第2.3.7条洁净室地面垫层下应铺设0.4～0.6mm厚的防水薄膜作防潮层，接头处搭接50mm，用胶带粘牢；混凝土浇筑时分仓线不宜通过洁净室。施工卷材和涂料的基底含水率不应大于6～8%。

第2.3.8条踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2～3mm。当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角,其圆角半径R应大于等于50mm；当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。踢脚板部分做法1—踢脚板；2—密封嵌固材料

第2.3.9条洁净室的装饰表面质量应符合表2.3.9的规定。

洁净室装饰表面质量要求一览表表2.3.

使用部位 要求项目发尘性 耐磨性 耐水性 防静电 防霉性 气密性 压缝条吊顶 涂料 不掉皮、粉化 - 可耐清洗 电阻为105～108Ω 耐潮湿、霉变 - -

板材 不产尘，无裂痕 - 可擦洗 - - 板缝平齐、密封 平直，缝隙不大于0.5mm

抹灰 按---抹灰 - 耐潮湿 - 耐潮湿、霉变 - -隔墙 涂料 不掉皮、粉化 - 可耐清洗 电阻为105～108Ω 耐潮湿、霉变 - -板材 不产尘，无裂痕 - 可耐清洗 - 耐潮湿、霉变 板缝平齐、密封 平直，缝隙不大于0.5mm抹灰 按---抹灰 - 可耐清洗 - 耐潮湿、霉变 - -地面 涂料 不起壳、脱皮 耐磨 耐清洗 电阻为105～108Ω - - -卷材 不虚铺，缝隙对齐，不积灰 耐磨 耐清洗 电阻为105～108Ω - 缝隙密封，不虚焊 缝隙焊接牢固，平滑水磨石 不起砂，密实，光滑 耐磨 耐清洗 - - - -

第四节施工要求

第2.4.1条建筑装饰工程必须与各---工种间制定严格的施工程序，一般依次为：留洞打底、各---安装、内门窗安装、修补洞口及周边基层打底、饰面抹灰和罩面板工程、嵌缝处理、油漆刷浆工程和裱糊工程。

第2.4.2条在洁净室建筑装饰施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐蔽空间（如吊顶和夹墙内部等）还应做好清扫记录。

第2.4.3条应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。

第2.4.4条对已安装---过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。

第2.4.5条塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大孝厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂，表面赶平，不得漏涂或残存空气。

第2.4.6条密封胶嵌固前，应将基槽内的杂质、油污剔除干净，并保持表面干燥。

第2.4.7条洁净室临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。

第2.4.8条施工现场应保证良好的通风和照明。对于改建工程，应查明和切断原有电源及易燃、易爆和有毒气体管线后方可施工。对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有---防护措施。

第五节装配式洁净室的安装

第2.5.1条装配式洁净室的安装，应在装饰工程完成后的室内进行。室内空间必须清洁、无积尘，并在施工安装过程中对零部件和场地随时清扫、擦净。

第2.5.2条施工安装时，应首先进行吊挂、锚固件等与主体结构和楼面、地面的联结件的固定。

第2.5.3条地面面层必须平整，其不平整度不应大于0.1%。在做卷材面层或涂料面层时应考虑与垂直壁板交接处的密封。

第2.5.4条壁板安装前必须严格放线，墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不应大于0.2%。

第2.5.5条吊顶应按房间宽度方向起拱，使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整。吊顶周边应与墙体交接严密。

第2.5.6条安装过程中不得撕下壁板表面塑料保护膜，禁止撞击和踩踏板面。

第2.5.7条各种构配件和材料应存放在有围护结构的清洁、干燥的环境中，平整地放置在防潮膜上。

第2.5.8条构配件和材料的开箱启封应在清洁环境中进行，应严格检查其规格性能和完好程度，不合格或已损坏的构配件严禁安装。

第2.5.9条需要粘贴面层的材料、嵌填密封胶的表面和沟槽必须严格清扫清洗，除去杂质和油污，确保粘贴密实，防---落和积灰。

第2.5.10条装配式洁净室的安装缝隙，必须用密封胶密封。

第三章净化空调系统

第3.1.1条净化空调系统的一般要求和风管、部件的具体制作验评方法，应分别符合现行------《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243和《通风与空调工程质量检验评定---》GBJ304的有关规定。

第3.1.2条净化空调系统的施工安装应根据“洁净室主要施工程序”（见附录二）制订协作进度计划，严格按计划进行。

第二节风管及其部件的制作

第3.2.1条风管和部件的板材应按设计要求选用，设计无要求时应采用冷轧钢板或优质镀锌钢板。

第3.2.2条风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝。矩形风管底边宽度等于或小于800mm时，其底边不得有纵向拼接缝。

第3.2.3条风管板材的拼接采用单咬口；圆形风管的闭合缝采用单咬口，弯管的横向缝采用立咬口；矩形风管转角缝采用转角咬口、联合角咬口或按扣式咬口。上述咬口缝处都必须涂密封胶或贴密封胶带。

第3.2.4条风管内表面必须平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。

第3.2.5条风管应按设计要求刷涂涂料。当设计无要求时，可按表3.2.5要求刷涂。刷涂前必须除去钢板表面油污和铁锈,干燥后再刷涂。涂层应无漏涂、起泡、露底现象。

镀锌钢板 回风管，---过滤器前送风管 内表面：一般不刷涂当镀锌钢板表面有明显氧化层，有---、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷时，按下列要求刷涂：磷化底漆锌黄醇酸类底漆面漆（磁漆或调和漆等） 122

外表面：不刷涂 ---过滤器后送风管 内表面：磷化底漆锌黄醇酸类底漆面漆（磁漆或调和漆等） 122外表面：不刷涂

第3.2.6条加工镀锌钢板风管应避免损坏镀锌层，损坏处（如咬口、折边、铆接处等）应刷涂优质涂料两遍。

第3.2.7条柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气和不产生静电的材料制做（如光面人造革、软橡胶板等），光面向里。接缝应严密不漏风，其长度一般取150～250mm。安装完毕后不得有开裂或扭曲现象。

第3.2.8条金属风管与法兰连接时，风管翻边应平整并紧贴法兰，宽度不应小于7mm，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。

第3.2.9条法兰螺钉孔和铆钉孔间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺钉孔。螺钉、螺母、垫片和铆钉应镀锌。不得选用空心铆钉。

第3.2.10条中效过滤器后的送风管法兰铆钉缝处应涂密封胶，或采取其他密封措施。涂密封胶前应---表面尘土和油污。

第3.2.11条风管、静压箱和部件必须保持清洁。制作完毕用无腐蚀性清洗液将内表面油膜和污物清洗干净,干燥后经检查达到要求即用塑料薄膜及胶带封口，清洗后立即安装的可不封口。

第3.2.12条净化空调系统管径大于500mm的风管应设清扫孔及风量、风压测定孔，过滤器前后应设测尘、测压孔，孔口安装时应除去尘土和油污，安装后必须将孔口封闭。

第3.2.13条风管及其部件不得在没有做好墙壁、地面、门窗的房间内制作和存放，制作场所应经常清扫并保持清洁。

第三节系统安装

第3.3.1条法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料，严禁采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板、---绳、铅油、麻丝以及油毡纸等含开孔孔隙和易产尘的材料。密封垫厚度根据材料弹性大小决定，一般为4～6mm。一对法兰的密封垫规格、性能及厚度应相同。严禁在密封垫上刷涂涂料。

第3.3.2条法兰密封垫应尽量减少接头。接头采用阶梯形或企口形，并涂密封胶，如图3.3.2所示。密封垫应擦拭干净后,涂胶粘牢在法兰上，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁相平。

第3.3.3条风管上成对法兰的拧紧力矩要大小一致，安装后不应有松紧不匀的现象。

第3.3.4条经清洗干净包装密封的风管及其部件，安装前不得拆卸。安装时拆开端口封膜后，随即连接好接头；如安装中间停顿，应将端口重新封好。

第3.3.5条风阀、---等部件安装时必须---内表面的油污和尘土。

第3.3.6条风阀的轴和阀体连接处缝隙应有密封措施，阀的各部分（包括外框、活动件、固定件及连接螺钉、螺帽、垫片等）表面应做镀铬、镀锌或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。

第3.3.7条净化空调系统风管安装之后，在保温之前应进行漏风检查。当设计对漏风检查和评定---有具体要求时，应按设计要求进行。

无具体要求时，应根据洁净度级别的高低按表3.3.7的规定进行。漏风检查方法和评定---法净度 风管部位 检查方法 漏风指标

任意级别低于1000级1000级到低于100级等于或高于100级 送、回风支管送、回风管送、回风总管和支干管送、回风总管和支干管 漏光法漏光法漏风法漏风法 无漏光无漏光≤2%≤1%

第3.3.8条擦拭净化空调系统内表面应采用不易掉纤维的材料。

第3.3.9条保温层外表面应平整、密封、无胀裂和松弛现象。洁净室内的风管有保温要求时，保温层外应做金属保护壳。保护壳的外表面应光滑不积尘，便于擦拭，接缝必须密封。保温施工时不得在风管壁上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密闭性。

风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。

第3.3.10条---过滤器送风口尺寸必须符合设计要求。安装前应清洗干净。需在洁净室内安装和更换---过滤器的送风口,风口翻边和吊顶板之间的接缝应加密封垫。在技术夹层内安装和更换---过滤器的风口，安装前应配合土建施工预埋短管,短管和吊顶板之间如有裂缝必须封堵好。

第四节---过滤器安装

第3.4.1条---过滤器安装前，必须对洁净室进行---清扫、擦净，净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦净，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装---过滤器，则技术夹层或吊顶内也应进行---清扫、擦净。

第3.4.2条洁净室及净化空调系统达到清洁要求后,净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上，再次清扫、擦净洁净室后立即安装---过滤器。

第3.4.3条---过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞。

第3.4.4条---过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密封胶和框架有无损坏；边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求；框架有无毛刺和锈斑（金属框）；有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。然后进行检漏。（见附录六、一）经检查和检漏合格的应立即安装。安装时应根据各台过滤器的阻力大小进行合理调配，对于单向流，同一风口或送风面上的各过滤器之间，每台额定阻力和各台平均阻力相差应小于5%,洁净度级别等于和高于100级洁净室的---过滤器，安装前应按附录六、一规定的方法检漏，并符合第5.4.1条规定的要求。

第3.4.5条安装---过滤器的框架应平整。每个---过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm。

第3.4.6条---过滤器和框架之间的密封采用密封垫、不干胶、负压密封、液槽密封和双环密封等方法时，都必须把填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。

第3.4.7条采用密封垫时，垫的厚度不宜超过8mm，压缩率为25%～30%。其接头形式和材质应符合第3.3.1条和第3.3.2条的规定。采用液槽密封时，液槽内的液面高度要符合设计要求，框架各接缝处不得有渗液现象。采用双环密封条时，粘贴密封条时不要把环腔上的孔眼堵住；双环密封和负压密封都必须保持负压管道畅通。

第3.4.8条安装---过滤器时，外框上箭头应和气流方向一致。当其垂直安装时，滤纸折痕缝应垂直于地面。

第五节空调器安装

第3.5.1条安装空调器时应对设备内部进行清洗、擦拭，除去尘土、杂物和油污。

第3.5.2条设备检查门的门框应该平整，密封垫应符合本规范第3.3.1条和第3.3.2条对法兰密封垫的要求。

第3.5.3条净化空调系统的空调器接缝应做密封处理，安装后应进行密封检查，其方法按附录四“空调器漏风率检测法”进行检漏、堵漏测量其漏风率。测量漏风率时，空调器内静压保持1000Pa。洁净度等于或高于1000级的系统，空调器漏风率不应大于1%；洁净度低于1000级的系统，空调器漏风率不应大于2%。

第3.5.4条过滤器前后必须装压差计，压差测定管应畅通、严密、无变形和裂缝。

第3.5.5条表冷器冷凝水排出管上应设水封装置和阀门，在无冷凝水排出季节应关闭阀门，保证空调器密闭不漏风。

第六节空气净化设备和装置的安装

第3.6.1条本节适用于空气吹淋室、气闸室、传递窗、余压阀、层流罩、洁净工作台、洁净烘箱、空气自净器、新风净化机组、净化空调器、生物---柜等设备。本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收的技术要求，应按设备的技术文件（如说明书、装配图、技术要求等）的规定执行。

第3.6.2条集中式真空吸尘器及其系统的安装施工及验收应符合现行------《通风与空调工程施工及验收规范》GBJ243的有关规定。

第3.6.3条设备应按出厂时外包装标志的方向装车、放置，运输过程防止剧烈振动和碰撞。对于风机底座与箱体软连接的设备，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。

第3.6.4条设备运到现场开箱之前，应在较清洁的房间内存放，并应注意防潮。当现场一时不具备室内存放条件时，允许短时间在室外存放，但应有防雨、防潮措施。

第3.6.5条设备应有合格证，开箱应在较干净的环境下进行，开箱后应擦去设备内外表面的尘土和油垢，设备开箱检查合格后应立即进行安装。

第3.6.6条设备应按装箱单进行检查，并应符合下列要求：

一、设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况；

二、内部各部分连接牢固。

第3.6.7条设备安装一般情况下应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行---清扫、擦拭干净之后进行。但与洁净室围护结构相连的设备（如新风净化机组、余压阀、传递窗、空气吹淋室、气闸室等）或其排风、排水（如排风洁净工作台、生物---柜、洁净工作台和净化空调器的地漏等）管道在必须与围护结构同时施工安装时，与围护结构连接的接缝应采取密封措施,做到严密而清洁；设备或其管道的送、回、排风（水）口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，洁净室投入运行前，均应将设备的送、回、排风口封闭。

第3.6.8条安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平。

第3.6.9条带风机的气闸室或空气吹淋室与地面之间应垫隔振层。

第3.6.10条凡有机械联锁或电气联锁的设备（如传递窗、空气吹淋室、气闸室、排风洁净工作台、生物---柜等）,安装调试后应保证联锁处于正常状态。

第3.6.11条凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转,试运转时叶轮旋转方向必须正确；试运转时间按设备的技术文件要求确定；当无规定时，则不应少于2h。

第3.6.12条设备的验收---应符合该设备的技术文件要求。

第3.6.13条安装生物---柜时应符合下列规定：

一、生物---柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆开包装；

二、生物---柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处，并应避免房间气流对操作口空气幕的干扰；

三、安装的生物---柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80～300mm之间。对于底面和底边紧贴地面的---柜所有沿地边缝应加以密封。

四、生物---柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。

第3.6.14条生物---柜在每次安装、移动之后，必须进行现场试验，并符合设计要求；当设计无规定时,Ⅱ级生物---柜的试验应符合下列规定：

一、压力渗漏试验，应确认所有接缝的气密性及整个设备没有漏气；

二、---空气过滤器的渗漏试验，应确认---空气过滤器本身及其安装接缝处没有渗漏；

三、操作区气流速度试验，应确认整个操作区的气流速度均满足规定的要求；

四、操作口气流速度试验，应确认整个操作口的气流速度均满足规定的要求；

五、操作口负压试验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜内；

六、洗涤盆漏水程度试验，应确认盛满水的洗涤盆经过1h后无漏水现象；

七、接地装置的接地线路电阻试验，应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过规定值。

第四章水、气、电系统

第4.1.1条洁净室内的给水排水、消防设施、气体动力、电气照明等施工，除应符合本规范外，尚应符合现行------《采暖与卫生工程施工及验收规范》GBJ242、《工业管道工程施工及验收规范》GBJ235、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236、《电气装置安??

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