SZT-2000型数字式四探针测试仪SZT-2000型

　　仪器为台式结构，分为电气箱、测试架两大部分，用户可以根据测试需要安放在一般工作台或者专用工作台上，测试架由探头及压力传动机构、样品架组成，耐磨和使用寿命长的特点。探头内设有弹簧压力装置，压力从0—2Kg连续可调，测试架设有手动和电动两种装置供用户选购。

仪器电气箱主要由高灵敏的直流数字电压表和高稳定的恒流源组成，测量结果由数字直接显示，仪器有自校量程，可以方便地对仪器的电气性能进行校验。

　　仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围广、结构紧凑、使用方便等特点，仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科学研究部门、高等院校，对半导体材料的电阻性能测试及工艺检测。

仪器主要技术指标：

　　1．范围：电阻率10-4—103Ω—cm，可扩展至105Ω—cm，分辩率为10-6Ω—cm

         方块电阻10-3—103Ω /□

         电阻10-6—105Ω

　　2．可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm

　　3．测量方式：轴向、断面均可（手动测试架）

　　4．数字电压表（1）量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

  (2)测量误差 0.2mV档±（0.3%读数+8字）

              2 mV档以上±（0.3%读数+2字）

  (3)输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω

              20mV档以上>108Ω

  (4)显示3 1/2位数字显示，0—1999

具有极性和过载自动显示，小数点、单位自动显示

　　5．恒流源：（1）电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给

   （2）量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档

   （3）电流误差：±（0.3%读数+2字）

　　6．四探针测试探头  （1）探头间距：1mm   (2)探针机械游率：±0.3%

                   (3) 探针：Φ0.5mm    (4)压力：可调

　　7．测试架：

  （1）手动测试架：探头上升及下降由手动操作，可以用作轴向和断面的单晶棒和硅片测试。

  （2）电动测试架：探头的上升和下降由电动操作，设有自动控制器控制，探头上升时间1S—99S可调，探头下降时间1S—99S可调，压力恒定可调（由砝码来设定）同时设有脚踏控制装置由脚踏开关控制探头上下运动。

　　8．电流：220V±10% 50HZ或60HZ：功率消耗<35W

　　9．外形尺寸：电气箱130×110×400mm