一個高精度、快速、同步位置控制的智能传感器系列。适合要求高的机械自动化控制应用。输出模式包括：模拟的电压与电流、SSI 同步串行数字、DeviceNet、CANbus、Profibus、Interbus 和 EtherCAT总线。更可提供位置和速度双输出，以及多重位置同步测量。
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MTS位移传感器RH5-M-A-1320M
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| 传感器型号 | RH耐压圆管内置或外置 | RP铝成型外壳只能外置 | RF非耐压柔性外管内置需套外保护管 |
| 输出信号 |
电压： 0...10v; 10...0v; -10...+10V; +10...-10V |
电压： 0...10V； 10...0V； -10...+10V； +10...-10V |
电压： 0...10V; 10...0V; -10...+10V; +10...-10V |
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电流： 0/4...20mA; 20...4/0mA |
电流：0/4...20mA; 20...4/0mA |
电流：0/4...20mA; 20...4/0mA |
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| SSI:串行同步接口 | SSI:串行同步接口 | SSI:串行同步接口 | |
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总线：CANbus(2); DeviceNet Profibus DP: |
总线：CANbus(2); DeviceNet Profibus DP; |
总线：CANbus(2); DeviceNet Profibus DP; |
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| 测量范围 | 25-7600mm |
25-5000mm 可选择到6200 |
0.25-15m 其它长度另购 |
| 分辨率 | 模拟：16Bit;0.0015%;最小10μm | ||
| 数字：最大可达到1μm | |||
| 保护等级 | IP67或IP68 | IP65 | IP65或IP67 |
| 电子头温度范围 | -40℃...+75℃ | ||
| 抗冲击震荡 | 抗冲击：100g(单一冲击)；抗震荡：15g(10-2000Hz) | ||
| 测量特点 | 位置/位移 | ||
| 速度 | |||
| CAN和Profibus最多15个磁铁 | |||
| 可调零点和量程 | |||
| 额外接口 | ---- | ---- | ---- |
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| 测量参数 |
位置 |
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| 测量范围 | 25——7600mm | 0.025——10m/s |
| 分辨率 | 最高达1μm,可选 ） | 1μm/s, 2μm/s, 5μm/s… |
| 线性 |
＜±0.01%满量程，最小±10μm |
＜0.5% |
| 重复精度 | ＜±0.001%满量程，最小±2.5μm | |
| 模拟输出 | 0…10/10…0VDC,－10…+10/+10…－10VDC,4（0）…20/20…4（0）mA | |
| 数字输出 |
标准的SSI信号，24/25/26BITS，二进制/格雷码；CANbus；DeviceNET； EtherCAT；Interbus；profibus-DP |
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| 现场设置 | 可进行多参数现场设置 | |
